面向原子精度制造的极端时空测量与表征
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硬脆薄壁异形件柔性超精密加工与精度控制
- 批准号:LD22E050010
- 项目类别:省市级项目
- 资助金额:0.0万元
- 批准年份:2021
- 负责人:居冰峰
- 依托单位:
跨尺度微纳米三坐标测量基础理论与技术研究
- 批准号:52035013
- 项目类别:重点项目
- 资助金额:300万元
- 批准年份:2020
- 负责人:居冰峰
- 依托单位:
单点金刚石微纳切削过程的跨尺度原位测量关键技术研究
- 批准号:U1709206
- 项目类别:联合基金项目
- 资助金额:200.0万元
- 批准年份:2017
- 负责人:居冰峰
- 依托单位:
超精密加工元件亚表面缺陷飞秒激光-超声耦合测量机理研究
- 批准号:51575488
- 项目类别:面上项目
- 资助金额:69.0万元
- 批准年份:2015
- 负责人:居冰峰
- 依托单位:
具有曲率突变特征的三维微纳结构多隧道电流耦合探针显微超精密测量基础技术研究
- 批准号:51175467
- 项目类别:面上项目
- 资助金额:60.0万元
- 批准年份:2011
- 负责人:居冰峰
- 依托单位:
大面积、高深-宽比微纳结构(HARMS)的超精密在线测量基础技术研究
- 批准号:90923031
- 项目类别:重大研究计划
- 资助金额:50.0万元
- 批准年份:2009
- 负责人:居冰峰
- 依托单位:
平面亚微米级局域导电率及其在MEMS导电薄膜器件无损检测中的应用基础研究
- 批准号:50705086
- 项目类别:青年科学基金项目
- 资助金额:20.0万元
- 批准年份:2007
- 负责人:居冰峰
- 依托单位:
国内基金
海外基金
