以具有曲率突变特征的三维微纳结构的超精密测量为主要研究内容，为克服传统扫描探针测量设备量子信号来源单一的缺陷，提出了采用多隧道电流耦合的探针显微测量方法， 形成了基于量子隧道电流信号综合表征“探针-试件”副非稳态耦合特性的系统体系，验证采用所构建的控制算法用于具有曲率突变特征的三维复杂微纳结构测量过程中各项控制性能指标；形成了基于扫描探针显微技术的三维微纳结构测量系统高效能控制算法体系；形成基于扫描探针显微技术的三维微纳结构测量系统高效能控制算法体系；研制了基于多隧道电流耦合的扫描探针显微镜并形成具有曲率突变特征的微纳结构的多隧道电流耦合探针显微超精密测量装置及其关键技术和试验流程；主要技术指标达到了合同书的要求；项目实施期间获得省部一、二等奖各1项。在《Journal of Applied Physics》、《Review of Scientific Instruments》、《Measurement Science and Technology》等国际学术刊物上发表SCI收录论文14篇，授权国家发明专利8项。培养博士后1名，博士生生3名，硕士生6名。