用于纳米操作的6自由度3-PPSR微动机器人
批准号:
50605013
项目类别:
青年科学基金项目
资助金额:
24.0 万元
负责人:
荣伟彬
依托单位:
学科分类:
机器人与机构学
结题年份:
2009
批准年份:
2006
项目状态:
已结题
项目参与者:
曲东升、富历新、谢晖、王振华、刘彦武、王乐锋、乔遂龙、朱铭
中文摘要
本课题针对纳米操作要求,提出一种新型具有纳米定位能力的小型化、高分辨率的3支链6-PPSR微动机构构型,在此基础上,研究3支链6-PPSR微动机构的机构模型、运动性能与优化设计方法,实现工作空间、刚度和精度的合理配置。分析微动定位精度的影响因素,建立相应的误差补偿模型与方法。为了实现并联微动机构的末端位置全闭环控制,提出6点非接触式测量方法,基于MEMS微加工技术,研究非接触式高精度微位移检测微传感器,并与6自由度3-PPSR微动机构集成,实现机构、驱动与末端检测一体化。建立6自由度3-PPSR微动并联机器人的全闭环控制系统,达到纳米控制精度。并对所建立的机构模型、仿真优化结果、误差分析结果、控制方法、性能指标进行实验验证。课题的研究在纳米操作、微机电系统(MEMS)制造、光学工程、生物医疗、集成电路(IC)制造等领域具有重要应用前景。
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DOI:
10.1088/0256-307x/26/12/126801
发表时间:
2009-11
期刊:
Chinese Physics Letters
影响因子:
3.5
作者:
[W. Le-feng;Rong Weibin;S. Li-ning;C. Liguo;Shao Bing]
通讯作者:
W. Le-feng;Rong Weibin;S. Li-ning;C. Liguo;Shao Bing
DOI:
--
发表时间:
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期刊:
机械设计与制造
影响因子:
--
作者:
[孙立宁, 王乐锋, 荣伟彬]
通讯作者:
荣伟彬
DOI:
--
发表时间:
--
期刊:
机械工程学报
影响因子:
--
作者:
[孙立宁, 王乐锋, 荣伟彬]
通讯作者:
荣伟彬
DOI:
--
发表时间:
--
期刊:
压电与声光
影响因子:
--
作者:
[孙立宁, 矫杰, 王乐锋, 荣伟彬]
通讯作者:
荣伟彬
DOI:
--
发表时间:
--
期刊:
光学精密工程
影响因子:
--
作者:
[孙立宁, 荣伟彬, 王乐锋]
通讯作者:
王乐锋
共 7 条
基于形状记忆聚合物的磁驱动螺旋微机器人调控方法研究
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批准号:--
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项目类别:面上项目
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资助金额:54万元
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批准年份:2022
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负责人:荣伟彬
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依托单位:
可控液滴催化生长与刻蚀纳米加工方法的研究
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批准号:51675141
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项目类别:面上项目
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资助金额:62.0万元
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批准年份:2016
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负责人:荣伟彬
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依托单位:
国内基金
海外基金