本项目针对类金刚石（DLC）薄膜高温服役条件下快速失效的难题，利用现有克服DLC薄膜高温摩擦学性能的方法（结构微观调控与多层体系构筑），采用磁控溅射技术，结合SiC高温抗氧化薄膜作为DLC薄膜的氧扩散阻挡层，以提高DLC薄膜高温摩擦学特性为目标，围绕多层DLC/SiC薄膜的制备及设计进行探索，对组成结构进行表征以及对其在不同温度下的摩擦学性能和相关机理进行探索，最终获得了在高温服役环境下摩擦学新能优异的多层DLC/SiC薄膜，项目主要取得了如下研究成果：.（1）采用有限元模拟了调制比和调制周期对多层DLC/SiC薄膜体系应力和应变的影响，得到了调制比和调制周期对多层DLC/SiC薄膜体系的设计准则；探讨了多层DLC/SiC薄膜对温度的不同响应，得到了多层薄膜温度分布的主动调控机制。.（2）采用磁控溅射制备了DLC薄膜，探讨了不同温度下DLC薄膜的摩擦学特性；采用磁控溅射制备了具有不同Si含量的Si-DLC薄膜以及具有不同F含量的F-DLC薄膜，分别考察了Si含量对Si-DLC薄膜以及F含量对F-DLC在不同温度下的摩擦学特性，揭示了不同温度下Si-DLC和F-DLC薄膜的摩擦机理。.（3）采用磁控溅射技术制备了SiC薄膜，考察了过渡层（金属Cr、Ti和非金属Si）以及磁控溅射参数（基底偏压、靶功率、沉积气压）对SiC薄膜结构、力学特性的影响，以力学特性为评判准则，选择力学性能较为优异的SiC薄膜，研究了其高温摩擦学性能和润滑表现，并通过加入C2H2得到了从室温到500 oC都具有优异摩擦学特性的富碳SiC薄膜。.（4）将单层DLC和单层SiC薄膜复合得到了多层DLC/SiC薄膜，考察了调制厚度比和调制周期等因素对多层薄膜力学性能和高温下的摩擦学性能的影响，揭示了不同温度下多层DLC/SiC薄膜的润滑机制。.通过本项目的开展，揭示了多层DLC/SiC薄膜在不同温度摩擦过程中的微观结构演变与损伤失效机制，开发了改善DLC薄膜在高温服役环境下润滑特性的方法，为克服DLC薄膜高温服役条件下快速失效提供了实验依据和技术支撑，同时也拓宽了高温服役条件下固体润滑材料的选择范围。本项目所有研究内容的执行和完成，具有十分重要的理论研究价值和广阔的应用前景。