课题基金基金详情
芯片制造中纳米精度表面加工基础问题研究
批准号:
--
项目类别:
重大项目
资助金额:
1990 万元
负责人:
路新春
依托单位:
学科分类:
--
结题年份:
--
批准年份:
2019
项目状态:
未结题
项目参与者:
路新春
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芯片复杂三维异质表面高均匀性平坦化原理与装备稳定性
  • 批准号:
    --
  • 项目类别:
    重大项目
  • 资助金额:
    683万元
  • 批准年份:
    2019
  • 负责人:
    路新春
  • 依托单位:
高温自润滑长寿命复合涂层制备及其摩擦学行为研究
  • 批准号:
    50575121
  • 项目类别:
    面上项目
  • 资助金额:
    25.0万元
  • 批准年份:
    2005
  • 负责人:
    路新春
  • 依托单位:
纳米薄膜的微观机械性能评价理论及方法
  • 批准号:
    50175058
  • 项目类别:
    面上项目
  • 资助金额:
    20.0万元
  • 批准年份:
    2001
  • 负责人:
    路新春
  • 依托单位:
FeXN系纳米层膜的微观摩擦磨损研究
  • 批准号:
    59805010
  • 项目类别:
    青年科学基金项目
  • 资助金额:
    14.0万元
  • 批准年份:
    1998
  • 负责人:
    路新春
  • 依托单位:
国内基金
海外基金