芯片制造中纳米精度表面加工基础问题研究
批准号：
--
项目类别：
重大项目
资助金额：
1990 万元
负责人：
路新春
依托单位：
学科分类：
加工制造
结题年份：
--
批准年份：
2019
项目状态：
未结题
项目参与者：
路新春
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