芯片制造中纳米精度表面加工基础问题研究
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芯片复杂三维异质表面高均匀性平坦化原理与装备稳定性
- 批准号:--
- 项目类别:重大项目
- 资助金额:683万元
- 批准年份:2019
- 负责人:路新春
- 依托单位:
高温自润滑长寿命复合涂层制备及其摩擦学行为研究
- 批准号:50575121
- 项目类别:面上项目
- 资助金额:25.0万元
- 批准年份:2005
- 负责人:路新春
- 依托单位:
纳米薄膜的微观机械性能评价理论及方法
- 批准号:50175058
- 项目类别:面上项目
- 资助金额:20.0万元
- 批准年份:2001
- 负责人:路新春
- 依托单位:
FeXN系纳米层膜的微观摩擦磨损研究
- 批准号:59805010
- 项目类别:青年科学基金项目
- 资助金额:14.0万元
- 批准年份:1998
- 负责人:路新春
- 依托单位:
国内基金
海外基金
