课题基金 / 基金详情

纳米薄膜的微观机械性能评价理论及方法

批准号：
50175058
项目类别：
面上项目
资助金额：
20.0 万元
负责人：
路新春
依托单位：
清华大学
学科分类：
机械摩擦学与表面技术
结题年份：
2004
批准年份：
2001
项目状态：
已结题
项目参与者：
郭炎、许光跃、张晨辉、赵磊
关键词：
纳米薄膜.微观机械性能.纳米压痕法

项目摘要

结项摘要

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中文摘要
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英文摘要
芯片复杂三维异质表面高均匀性平坦化原理与装备稳定性
  • 批准号：
    --
  • 项目类别：
    重大项目
  • 资助金额：
    683万元
  • 批准年份：
    2019
  • 负责人：
    路新春
  • 依托单位：
    清华大学
芯片制造中纳米精度表面加工基础问题研究
  • 批准号：
    --
  • 项目类别：
    重大项目
  • 资助金额：
    1990万元
  • 批准年份：
    2019
  • 负责人：
    路新春
  • 依托单位：
    清华大学
高温自润滑长寿命复合涂层制备及其摩擦学行为研究
  • 批准号：
    50575121
  • 项目类别：
    面上项目
  • 资助金额：
    25.0万元
  • 批准年份：
    2005
  • 负责人：
    路新春
  • 依托单位：
    清华大学
FeXN系纳米层膜的微观摩擦磨损研究
  • 批准号：
    59805010
  • 项目类别：
    青年科学基金项目
  • 资助金额：
    14.0万元
  • 批准年份：
    1998
  • 负责人：
    路新春
  • 依托单位：
    清华大学
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