FeXN系纳米层膜的微观摩擦磨损研究
批准号:
59805010
项目类别:
青年科学基金项目
资助金额:
14.0 万元
负责人:
路新春
依托单位:
学科分类:
机械摩擦学与表面技术
结题年份:
2000
批准年份:
1998
项目状态:
已结题
项目参与者:
王振军、郭炎、杨明楚、邹荣
关键词:
芯片复杂三维异质表面高均匀性平坦化原理与装备稳定性
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批准号:--
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项目类别:重大项目
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资助金额:683万元
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批准年份:2019
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负责人:路新春
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依托单位:
芯片制造中纳米精度表面加工基础问题研究
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批准号:--
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项目类别:重大项目
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资助金额:1990万元
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批准年份:2019
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负责人:路新春
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依托单位:
高温自润滑长寿命复合涂层制备及其摩擦学行为研究
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批准号:50575121
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项目类别:面上项目
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资助金额:25.0万元
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批准年份:2005
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负责人:路新春
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依托单位:
纳米薄膜的微观机械性能评价理论及方法
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批准号:50175058
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项目类别:面上项目
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资助金额:20.0万元
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批准年份:2001
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负责人:路新春
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依托单位:
国内基金
海外基金