基于申请人提出一种新型微点火器结构设计方案，即单晶硅基体-堇青石热障层兼绝缘层-SiC电热体膜，采用低压冷喷涂方法，在单晶硅基体上依次制备堇青石热障兼绝缘层、SiC电热体膜，并在电热体膜两端沉积低电阻率SiC作为引出电极，从而构成完整的微点火器。解决点火器各膜层结构之间的热膨胀匹配问题，明确热障膜的厚度、SiC电热体膜的组织结构、宏观结构尺寸对点火器加热特性（包括加热温度和点火时间）的影响，探讨点火器运行中热稳定的影响因素与影响规律。本项目研究成果将解决新型高性能微点火器制造中的关键科学问题，从而大大降低微引擎的制造难度，对推动微引擎的研究开发具有重要意义，并提供一种新的MEMS加工方法。