基于低压冷喷涂法的微引擎新型SiC膜微点火器的关键制造技术
批准号：
50705075
项目类别：
青年科学基金项目
资助金额：
20.0 万元
负责人：
王豫跃
依托单位：
学科分类：
微纳机械系统
结题年份：
2010
批准年份：
2007
项目状态：
已结题
项目参与者：
王雅生、李勇、所新坤、邓传上
项目摘要
结项摘要
项目成果
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中文摘要
基于申请人提出一种新型微点火器结构设计方案，即单晶硅基体-堇青石热障层兼绝缘层-SiC电热体膜，采用低压冷喷涂方法，在单晶硅基体上依次制备堇青石热障兼绝缘层、SiC电热体膜，并在电热体膜两端沉积低电阻率SiC作为引出电极，从而构成完整的微点火器。解决点火器各膜层结构之间的热膨胀匹配问题，明确热障膜的厚度、SiC电热体膜的组织结构、宏观结构尺寸对点火器加热特性（包括加热温度和点火时间）的影响，探讨点火器运行中热稳定的影响因素与影响规律。本项目研究成果将解决新型高性能微点火器制造中的关键科学问题，从而大大降低微引擎的制造难度，对推动微引擎的研究开发具有重要意义，并提供一种新的MEMS加工方法。
英文摘要
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专利列表
DOI：
10.1007/s11666-010-9541-9
发表时间：
2010-08
期刊：
Journal of Thermal Spray Technology
影响因子：
3.1
作者：
[Y. Wang;Y. Liu;G. Yang;J. Feng;K. Kusumoto]
通讯作者：
Y. Wang;Y. Liu;G. Yang;J. Feng;K. Kusumoto
Effect of Nano-Sized TiN Additions on the Electrical Properties of Vacuum Cold Sprayed SiC Coatings
纳米TiN添加对真空冷喷涂SiC涂层电性能的影响
纳米TiN添加对真空冷喷涂SiC涂层电性能的影响
DOI：
10.1007/s11666-010-9544-6
发表时间：
2010-08
期刊：
Journal of Thermal Spray Technology
影响因子：
3.1
作者：
[Kusumoto, K., Wang, Y. -Y., Feng, J. -J., Yang, G. -J., Liu, Y.]
通讯作者：
Liu, Y.
Preparation and characterization of cordierite powder via tween-80 modified citrate sol-gel method
Tween-80改性柠檬酸盐溶胶-凝胶法制备堇青石粉体及其表征
Tween-80改性柠檬酸盐溶胶-凝胶法制备堇青石粉体及其表征
DOI：
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发表时间：
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期刊：
Advanced Materials Research
影响因子：
--
作者：
[王豫跃]
通讯作者：
王豫跃
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