基于超谐同步共振的高精度MEMS微重力加速度传感器研究
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多模耦合硅微谐振器中的非线性效应研究及其在振荡器中的应用
- 批准号:51575439
- 项目类别:面上项目
- 资助金额:63.0万元
- 批准年份:2015
- 负责人:韦学勇
- 依托单位:
体声波模态微机械谐振子中的非线性效应及其应用研究
- 批准号:51345014
- 项目类别:专项基金项目
- 资助金额:10.0万元
- 批准年份:2013
- 负责人:韦学勇
- 依托单位:
国内基金
海外基金
