感光薄膜与微光学器件制备
项目介绍
AI项目解读
基本信息
- 批准号:90401009
- 项目类别:重大研究计划
- 资助金额:24.0万
- 负责人:
- 依托单位:
- 学科分类:E0207.无机非金属半导体与信息功能材料
- 结题年份:2007
- 批准年份:2004
- 项目状态:已结题
- 起止时间:2005-01-01 至2007-12-31
- 项目参与者:姚秉华; 张卫华; 刘守智; 葛利玲; 吕宝强; 韩晶; 李颖;
- 关键词:
项目摘要
以集成光电子和光学器件用的SiO2和Al2O3薄膜为对象,首先合成硅和铝的金属配位化合物,使这种化合物具有紫外感光性,以此为原料用溶胶-凝胶法制备具有紫外感光性和高度光学分辨率的SiO2基和Al2O3基凝胶薄膜,并使薄膜的厚度达到5微米以上或光学分辨率达到2000条线/毫米。利用薄膜自身的感光特性结合紫外光照、有机溶洗、热处理制备光导薄膜微细图形。进一步采用多束紫外激光干涉法探讨高密度无机薄膜光栅,二维格子和二维光学阵列制备新方法。这一方法与传统微细图形制备最大的区别是无需光致抗蚀剂,无需干法或湿法刻蚀,而是利用薄膜自身的感光性。通过选择合适的金属配位体不仅可以调整薄膜的厚度,也可调整薄膜的感光度和光学分辨率。厚膜微细图形在集成光学器件,等离子显示器基板障壁等方面有重要应用,高分辨率薄膜结和紫外激光干涉可以获得纳米级的光学阵列格点,对于探索新型高密度光栅和微型光电子器件的制备具有重要意义。
结项摘要
项目成果
期刊论文数量(22)
专著数量(0)
科研奖励数量(0)
会议论文数量(3)
专利数量(0)
Fabrication of YBa2Cu3O7-x Sup
YBa2Cu3O7-x Sup 的制造
- DOI:--
- 发表时间:--
- 期刊:
- 影响因子:--
- 作者:Gaoyang Zhao, Yuanqing Chen, L
- 通讯作者:Gaoyang Zhao, Yuanqing Chen, L
Fabrication of inorganic film
- DOI:--
- 发表时间:--
- 期刊:
- 影响因子:--
- 作者:Wang Zhezhe, Zhao Gaoyang, Ma
- 通讯作者:Wang Zhezhe, Zhao Gaoyang, Ma
Using the photolysis of chemic
利用化学光解作用
- DOI:--
- 发表时间:--
- 期刊:
- 影响因子:--
- 作者:Ying Li, Gaoyang Zhao, Weihua
- 通讯作者:Ying Li, Gaoyang Zhao, Weihua
溶胶-凝胶法制备YBa2Cu3O7-x超
- DOI:--
- 发表时间:--
- 期刊:功能材料. 2006,37(9):1423-1425(EI)Accession number: 064710258211
- 影响因子:--
- 作者:陈源清;赵高扬;薛人中;严复学
- 通讯作者:严复学
Preparation and performances o
准备和表演
- DOI:--
- 发表时间:--
- 期刊:
- 影响因子:--
- 作者:Bing-hua Yao, Li-ming Wang, Ch
- 通讯作者:Bing-hua Yao, Li-ming Wang, Ch
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其他文献
高温超导薄膜微细图形制备工艺的研究进展
- DOI:--
- 发表时间:--
- 期刊:材料导报
- 影响因子:--
- 作者:刘晓梅;张黄莉;赵高扬;彭海军
- 通讯作者:彭海军
Zn2+掺杂的YBCO薄膜的超导性能研究
- DOI:--
- 发表时间:2011
- 期刊:功能材料
- 影响因子:--
- 作者:雷黎;赵高扬;徐慧.
- 通讯作者:徐慧.
图案化In_2O_3:Sn薄膜制备及显影剂对图案制备的影响研究
- DOI:10.3969/j.issn.1001-9731.2021.03.013
- 发表时间:2021
- 期刊:功能材料
- 影响因子:--
- 作者:任洋;贺海燕;赵高扬;王允威
- 通讯作者:王允威
Pb(Zr0.52Ti0.48)O3/YBa2Cu3O7-x双层结构电学特性研究
- DOI:--
- 发表时间:2016
- 期刊:低温与超导
- 影响因子:--
- 作者:贾纪强;赵高扬;雷黎;严富学
- 通讯作者:严富学
过渡层(SiO_2,TiO_2)对F掺杂SnO_2薄膜的光电性能影响研究
- DOI:--
- 发表时间:2015
- 期刊:人工晶体学报
- 影响因子:--
- 作者:高赟;赵高扬;任洋
- 通讯作者:任洋
其他文献
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