铁电系陶瓷波膜的制备及其微细图形化研究
批准号：
50072018
项目类别：
面上项目
资助金额：
18.0 万元
负责人：
赵高扬
依托单位：
学科分类：
无机非金属半导体与信息功能材料
结题年份：
2003
批准年份：
2000
项目状态：
已结题
项目参与者：
姚秉华、蒋百灵、胡可文、张兴旺、蒋永峰、李均明
项目摘要
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中文摘要
溶胶—凝胶法制备的铁电系陶瓷波膜，很难用传统的刻蚀法对其进行微细加工。本课题结合溶胶—凝胶制膜特点，把配位化学与光化学的理论引入制膜过程，使薄膜在凝胶阶段具有紫外感光性，从而能利用紫外光对其进行微细加工。进而研究凝胶膜化学结构、光化学反应、凝胶膜到无机膜的转化规律等。其结果将对铁电膜微细图形化新技术的确立提供理论依据。
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DOI：
10.1016/j.materresbull.2003.10.009
发表时间：
2004-03
期刊：
Materials Research Bulletin
影响因子：
5.4
作者：
[Zhao Gao-yang;Z. Weihua;Du Ze-hui]
通讯作者：
Zhao Gao-yang;Z. Weihua;Du Ze-hui
DOI：
--
发表时间：
--
期刊：
无机材料学报
影响因子：
--
作者：
[张卫华, 赵高扬]
通讯作者：
赵高扬
Photosensitive PZT film and fine patterning by sol-gel processes
光敏 PZT 薄膜和溶胶-凝胶工艺精细图案化
光敏 PZT 薄膜和溶胶-凝胶工艺精细图案化
DOI：
--
发表时间：
--
期刊：
Materials Science and Engineering
影响因子：
--
作者：
[Zhang Weihua, Zhao Gaoyang, Chen Zhiming]
通讯作者：
Chen Zhiming
DOI：
--
发表时间：
--
期刊：
材料研究学报
影响因子：
--
作者：
[赵桂荣, 赵高扬]
通讯作者：
赵高扬
DOI：
--
发表时间：
--
期刊：
金属材料研究
影响因子：
--
作者：
[梁群兰, 赵高扬]
通讯作者：
赵高扬
共 6 条
异质多层高温超导薄膜的研究
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批准号：51672212
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项目类别：面上项目
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资助金额：62.0万元
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批准年份：2016
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负责人：赵高扬
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依托单位：
铁电/超导异质结制备及其交互作用研究
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批准号：51372198
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项目类别：面上项目
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资助金额：80.0万元
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批准年份：2013
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负责人：赵高扬
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依托单位：
异质钙钛矿微结构材料制备及性能研究
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批准号：51072163
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项目类别：面上项目
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资助金额：38.0万元
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批准年份：2010
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负责人：赵高扬
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依托单位：
高温超导薄膜微细图形研究
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批准号：50772088
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项目类别：面上项目
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资助金额：32.0万元
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批准年份：2007
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负责人：赵高扬
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依托单位：
感光薄膜与微光学器件制备
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批准号：90401009
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项目类别：重大研究计划
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资助金额：24.0万元
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批准年份：2004
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负责人：赵高扬
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依托单位：
国内基金
海外基金