铁电系陶瓷波膜的制备及其微细图形化研究
批准号:
50072018
项目类别:
面上项目
资助金额:
18.0 万元
负责人:
赵高扬
依托单位:
学科分类:
E0207.无机非金属半导体与信息功能材料
结题年份:
2003
批准年份:
2000
项目状态:
已结题
项目参与者:
姚秉华、蒋百灵、胡可文、张兴旺、蒋永峰、李均明
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中文摘要
溶胶—凝胶法制备的铁电系陶瓷波膜,很难用传统的刻蚀法对其进行微细加工。本课题结合溶胶—凝胶制膜特点,把配位化学与光化学的理论引入制膜过程,使薄膜在凝胶阶段具有紫外感光性,从而能利用紫外光对其进行微细加工。进而研究凝胶膜化学结构、光化学反应、凝胶膜到无机膜的转化规律等。其结果将对铁电膜微细图形化新技术的确立提供理论依据。
英文摘要
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DOI:10.1016/j.materresbull.2003.10.009
发表时间:2004-03
期刊:Materials Research Bulletin
影响因子:5.4
作者:Zhao Gao-yang;Z. Weihua;Du Ze-hui
通讯作者:Zhao Gao-yang;Z. Weihua;Du Ze-hui
DOI:--
发表时间:--
期刊:无机材料学报
影响因子:--
作者:张卫华;赵高扬
通讯作者:赵高扬
Photosensitive PZT film and fine patterning by sol-gel processes
光敏 PZT 薄膜和溶胶-凝胶工艺精细图案化
DOI:--
发表时间:--
期刊:Materials Science and Engineering
影响因子:--
作者:Zhang Weihua;Zhao Gaoyang;Chen Zhiming
通讯作者:Chen Zhiming
DOI:--
发表时间:--
期刊:材料研究学报
影响因子:--
作者:赵桂荣;赵高扬
通讯作者:赵高扬
DOI:--
发表时间:--
期刊:金属材料研究
影响因子:--
作者:梁群兰;赵高扬
通讯作者:赵高扬
异质多层高温超导薄膜的研究
- 批准号:51672212
- 项目类别:面上项目
- 资助金额:62.0万元
- 批准年份:2016
- 负责人:赵高扬
- 依托单位:
铁电/超导异质结制备及其交互作用研究
- 批准号:51372198
- 项目类别:面上项目
- 资助金额:80.0万元
- 批准年份:2013
- 负责人:赵高扬
- 依托单位:
异质钙钛矿微结构材料制备及性能研究
- 批准号:51072163
- 项目类别:面上项目
- 资助金额:38.0万元
- 批准年份:2010
- 负责人:赵高扬
- 依托单位:
高温超导薄膜微细图形研究
- 批准号:50772088
- 项目类别:面上项目
- 资助金额:32.0万元
- 批准年份:2007
- 负责人:赵高扬
- 依托单位:
感光薄膜与微光学器件制备
- 批准号:90401009
- 项目类别:重大研究计划
- 资助金额:24.0万元
- 批准年份:2004
- 负责人:赵高扬
- 依托单位:
国内基金
海外基金















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