航空航天、汽车、能源动力、军事国防等行业中，如何在大尺寸自由曲面零部件表面高精度、高效率制造出精确图形微结构的加工需求十分广泛而且复杂。许多情况下，需要加工的材料常常是软质、硬质或者信息薄膜功能材料，具体加工任务包括切割、打孔、刻蚀，以及材料的加成法工艺（涂覆、焊接）等。针对这些自由曲面零件表面微结构的“跨尺度（宏尺寸/微精度）”加工需求，本项目结合了平行投影变换和激光加工焦深特性，提出了一种平行投影式振镜扫描（Parallel Projective Galvo Scanning，PPGS）激光精密加工技术。本项目的主要成果是：1）对PPGS激光精密加工技术的加工理论基础、工艺流程设计、原型设备研制、系统误差分析、自由曲面子块划分优化算法以及加工工艺软件进行了系统研究，申请了9项发明专利、2项实用新型和2项软件著作权。2）基于自主研制的“3+2”轴PPGS激光精密加工原型设备，利用其配置的全固态355nm紫外激光器，针对不同材质（金属、陶瓷、玻璃、聚合物等）、不同加工应用（包括切割、打孔、刻蚀等）的工业领域加工需求，开展了较系统的激光精密加工工艺实验，包括超薄氧化铝陶瓷切割、单晶硅三维微结构刻蚀、大幅面PI膜直孔阵列加工、氟掺杂氧化锡薄膜刻蚀、频率选择表面微结构刻蚀，研究结果发表10篇学术论文。3）培养硕士研究生3名、博士研究生2名，博士后（出站）1名。