本项目采用电化学原子层外延法（ECALE），通过交替欠电位沉积Bi2Te3/Sb2Te3超晶格中化合物组成元素的单原子层实现外延生长，从而获得超晶格薄膜材料。采用循环伏安和计时电流法，结合原子力显微观察和XRD、XPS分析测试，通过对Bi、Sb、Te分别在衬底表面和它们互相在各自表面欠电位沉积行为的研究以及形成超晶格薄膜组织结构的观察分析，确定沉积工艺条件对超晶格薄膜沉积生长行为的影响规律，优化Bi2Te3/Sb2Te3超晶格薄膜的沉积工艺，从而探明Bi2Te3/Sb2Te3超晶格薄膜的ECALE沉积动力学行为及其生长规律。本课题首次研究ECALE法沉积Bi2Te3/Sb2Te3超晶格薄膜及其生长机理，在国际和国内都是一项非常有意义的探索和创新，对发展超晶格热电材料的新型制备方法，进一步提高其热电性能以及丰富ECALE的基础理论和拓宽其应用范围都具有重要的学术研究价值和广阔的应用前景。