课题基金 / 基金详情

脉冲CO2激光驱动的EUV光源研究

批准号：
61078024
项目类别：
面上项目
资助金额：
18.0 万元
负责人：
陆培祥
依托单位：
华中科技大学
学科分类：
激光
结题年份：
2011
批准年份：
2010
项目状态：
已结题
项目参与者：
兰鹏飞、廖青、谢明杰、洪伟毅、张庆斌、王少义、童爱红、蔡静、秦梅艳
关键词：
极紫外光刻EUV光源Sn靶CO2激光激光等离子体（LPP）

项目摘要

结项摘要

项目成果

陆培祥的其他基金

相似基金

相关文献

中文摘要
极紫外光刻技术（EUVL）被认为是下一代光刻技术的最主要候选技术，EUV光源是EUVL的关键技术之一。近年来该领域的研究与发展趋势表明采用CO2激光等离子体作为EUV光源已经显示出巨大优势，可能是将来EUVL设备的最佳光源。项目针对EUVL设备需要的高转换效率、窄带宽、低碎屑和长寿命等需求，在国内提出采用脉冲CO2激光驱动Sn等离子体获得高转换效率、低碎屑EUV光源的方案。通过数值模拟与理论分析，深入理解CO2激光驱动等离子体辐射EUV的物理机制，优化实验参数与靶的设计，实现13.5nm处2%带宽高转换效率、高清洁度EUV光源输出。项目的开展将有助于我国在EUVL研究领域取得自主知识产权的成果并赶上国际同期水平。
英文摘要
期刊论文列表
专著列表
科研奖励列表
会议论文列表
专利列表
Lifetime Calculations on Collector Optics from Laser Plasma Extreme Ultraviolet Sources with Minimum Mass
最小质量激光等离子体极紫外光源收集器光学器件的寿命计算
DOI： 10.1088/0256-307x/28/5/055201
发表时间： 2011-05
期刊： Chinese Physis Letters
影响因子： --
作者： [吴涛, 王新兵]
通讯作者： 王新兵
CO2激光锡等离子体极紫外及可见光光谱研究
DOI： --
发表时间： --
期刊： 光学学报
影响因子： --
作者： [吴涛, 杨晨光, 饶志明, 卢宏, 唐建, 王新兵, 王少义]
通讯作者： 王少义
强场超快光学
  • 批准号：
    --
  • 项目类别：
    --
  • 资助金额：
    1000万元
  • 批准年份：
    2020
  • 负责人：
    陆培祥
  • 依托单位：
    华中科技大学
固体强场电离的阿秒测量与操控研究
  • 批准号：
    11934006
  • 项目类别：
    重点项目
  • 资助金额：
    335.0万元
  • 批准年份：
    2019
  • 负责人：
    陆培祥
  • 依托单位：
    华中科技大学
基于量子干涉的阿秒电子波包测量方法研究
  • 批准号：
    61475055
  • 项目类别：
    面上项目
  • 资助金额：
    94.0万元
  • 批准年份：
    2014
  • 负责人：
    陆培祥
  • 依托单位：
    华中科技大学
基于双色光场量子操纵的分子轨道高时空分辨成像研究
  • 批准号：
    11234004
  • 项目类别：
    重点项目
  • 资助金额：
    320.0万元
  • 批准年份：
    2012
  • 负责人：
    陆培祥
  • 依托单位：
    华中科技大学
国内基金
海外基金