面向新一代芯片的先进测量技术与光刻机产业发展战略研究
项目介绍
AI项目解读
基本信息
- 批准号:L2224048
- 项目类别:专项项目
- 资助金额:80.00万
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- 依托单位:
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- 结题年份:
- 批准年份:2022
- 项目状态:未结题
- 起止时间:2022 至
- 项目参与者:谭久彬;
- 关键词:
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项目成果
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