课题基金 / 基金详情

基于谐振MEMS的TPD/TPR原位测量创新方法和高性能分析仪器研究

批准号：
62227815
项目类别：
国家重大科研仪器研制项目
资助金额：
885.00 万元
负责人：
李昕欣
依托单位：
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
学科分类：
微纳机电器件与控制系统
结题年份：
--
批准年份：
2022
项目状态：
未结题
项目参与者：
李昕欣
关键词：
谐振MEMSTPD/TPR原位测量创新方法高性能分析仪器

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