基于分子玻璃的高分辨率极紫外负性光刻胶的合成、光化学机理与光刻关键工艺研究
批准号:
22375209
项目类别:
面上项目
资助金额:
50.00 万元
负责人:
王双青
依托单位:
学科分类:
--
结题年份:
--
批准年份:
2023
项目状态:
未结题
项目参与者:
王双青
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基于稳定金属配合物的化学放大电子束光刻胶及其在电子束辐照下的化学过程和机理研究
- 批准号:--
- 项目类别:面上项目
- 资助金额:63万元
- 批准年份:2020
- 负责人:王双青
- 依托单位:
有机-无机杂化光刻胶在极紫外光照下的光化学行为及极紫外光刻性能研究
- 批准号:21873106
- 项目类别:面上项目
- 资助金额:66.0万元
- 批准年份:2018
- 负责人:王双青
- 依托单位:
极紫外光照下光刻胶组合物的光化学过程与机理研究
- 批准号:21373240
- 项目类别:面上项目
- 资助金额:81.0万元
- 批准年份:2013
- 负责人:王双青
- 依托单位:
基于8-羟基喹啉衍生物的多核多金属配合物及其三阶非线性光学特性
- 批准号:50973118
- 项目类别:面上项目
- 资助金额:37.0万元
- 批准年份:2009
- 负责人:王双青
- 依托单位:
轴向取代酞菁、类酞菁化合物的合成、光物理特性、光限幅特性与应用
- 批准号:50773085
- 项目类别:面上项目
- 资助金额:32.0万元
- 批准年份:2007
- 负责人:王双青
- 依托单位:
轴向取代酞菁、类酞菁化合物的合成及光物理与光限幅特性研究
- 批准号:20473104
- 项目类别:面上项目
- 资助金额:8.0万元
- 批准年份:2004
- 负责人:王双青
- 依托单位:
偶氮有机金属螯合物的非线性光学特性研究
- 批准号:50303019
- 项目类别:青年科学基金项目
- 资助金额:23.0万元
- 批准年份:2003
- 负责人:王双青
- 依托单位:
国内基金
海外基金
