基于量子隧穿效应的高精度静电力平衡隧道磁阻微加速度计关键技术研究
批准号：
19ZR1467300
项目类别：
省市级项目
资助金额：
--
负责人：
陈方
依托单位：
中国科学院上海微系统与信息技术研究所
学科分类：
A20.凝聚态物理
结题年份：
--
批准年份：
2019
项目状态：
未结题
项目参与者：
陈方
关键词：
量子隧穿效应静电力平衡隧道磁阻微加速度计
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