Meter-Scale High-Density Microwave Plasma Production with Novel Antenna Coupler Design
Meter-Scale High-Density Microwave Plasma Production with Novel Antenna Coupler Design
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采用新型天线耦合器设计的米级高密度微波等离子体生产
DOI：
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发表时间：
2004
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
H.Sugai
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Y.Nojiri;K.Takasu;T.Ishijima;H.Sugai
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使用微波放电产生毫托范围内的大直径均匀等离子体
影响因子：
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Y. Yasaka;D. Nozaki;K. Koga;M. Ando;Tetsuya Yamamoto;N. Goto;N. Ishii;T. Morimoto
通讯作者：
T. Morimoto
影响因子：
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通讯作者：
H. Kokura;S. Yoneda;Keiji Nakamura;N. Mitsuhira;Moritaka Nakamura;H. Sugai
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通讯作者：
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影响因子：
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通讯作者：
H. Sugai