レーザー直接描画法を用いたウェットプロセスによる機能膜微細パターン形成 (Micropatterning of functional films by wet process using laser direct writing method)
レーザー直接描画法を用いたウェットプロセスによる機能膜微細パターン形成 (Micropatterning of functional films by wet process using laser direct writing method)
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使用激光直写法通过湿法工艺对功能薄膜进行微图案化
DOI：
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发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
渡辺明
中科院分区：
文献类型：
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作者：
伏見公志;熊谷美那;宮元一成;長谷川靖哉;渡辺明
结晶锆钛酸铅 (PZT) 薄膜的低温加工以及溶胶-凝胶衍生薄膜的激光诱导热解直接微图案化
影响因子：
1.5
作者：
A. Watanabe;Tomokazu Tanase;Yoshio Kobayashi;M. Konno;S. Yamada;T. Miwa
通讯作者：
T. Miwa
DOI：
10.1007/s00339-009-5433-6
发表时间：
2009-10
期刊：
Applied Physics A
影响因子：
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作者：
R. Auyeung;H. Kim;A. Birnbaum;M. Zalalutdinov;S. Mathews;A. Piqué
通讯作者：
R. Auyeung;H. Kim;A. Birnbaum;M. Zalalutdinov;S. Mathews;A. Piqué