Deep-ultraviolet micro-Raman investigation of surface defects in a 4H-SiC homoepitaxially grown film

Deep-ultraviolet micro-Raman investigation of surface defects in a 4H-SiC homoepitaxially grown film
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4H-SiC 同质外延生长薄膜表面缺陷的深紫外显微拉曼研究

DOI:
--
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发表时间:
2005
期刊:
Applied Physics Letters Vol.87
影响因子:
--
通讯作者:
et. al.
et. al.
中科院分区:
--
文献类型:
--
作者:
T. Tomita;et. al.

文献摘要

参考文献

被引文献

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