Integration of multifunctional nanoanalytic (A12*)

在此过程中，我们将在纳米分析系统中自动检测信息的质量。Das Konzept der NPM-Maschinen erlabt eine Positiones Genaue Sequentielle Kombenination unterschiedlicher Messpinzipien MIT NanometerauflöSong in einem Extreme groçen Messvolumen.大北山理工学院纳米分析公司的芯片集成-Verfahren MIT Hilfe eins Wechsler-Konzepts ALS UM Neuartige System e für die 3D-Messung MIT Seitlicher Antaung and Vollständiger在Einen立体结构硅片中的集成系统。

Durch Integration unterschiedlicher Verfahren in einen automatisierten Wechsler für Messspitzen wird eine neue Qualität der Nanoanalytik erschlossen. Das Konzept der NPM-Maschinen erlaubt eine positionsgenaue sequentielle Kombination unterschiedlicher Messprinzipien mit Nanometerauflösung in einem extrem großen Messvolumen. Dabei geht es sowohl um die Integration bekannter Nanoanalytik-Verfahren mit Hilfe eins Wechsler-Konzepts als auch um neuartige Systeme für die 3D-Messung mit seitlicher Antastung und vollständiger Integration des Antastsystems in einen dreidimensional strukturierten Si-Wafer.