Wechselwirkung langsamer hochgeladener Ionen mit der Oberfläche von Ionenkristallen und Isolatoren

在jngster Vergangenheit haben gezeigt， dass die Deposition der potential energy hochgeladener Ionen和der Oberfläche von Ionenkristallen die Erzeugung nm-großer Strukturen initiieren kann中进行的实验。2 .光刻技术在光刻技术中的应用：1 .光刻技术在光刻技术中的应用；2 .光刻技术在光刻技术中的应用Damit lassen sich Strukturänderungen and der Oberfläche erzeeugen ohne dabei Strahlenschäden in Inneren des Festkörpers hervorzurufen。[1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1]模具自适应模型auf den allgemeinen Fall der Ionenkristalloberflächen stelleines der Hauptziele des vorliegenden forschungsprojetes dar。在系统科学研究中，动力学与电位器的相互作用是动力学与电位器的相互作用，而动力学与电位器的相互作用是动力学与电位器的相互作用。Die gezielte Variation von Ionenauftreffwinkel und Oberflächentemperatur soll dabei ein möglichst detailliertes Bild <e:1>她Die Quantität dieser Abhängigkeiten auf unterschiedlichen Ionenkristalloberflächen liefern。[2]纳米结构的研究与应用[j]； [j]; [j]; [j]；Der essentiellen Fragestellung ninner Struktur Der erzeugenen werden, d.h nacherchemischen Zusammensetzung Der crystal - graphy Ordnung, solin vorligenden project，在untersusugengen mitels， transmissionselektronenmicroskopie nachgegenen werden。2 .在维也纳，研究人员对实验项目进行了系统分析和建模，并对技术项目进行了系统分析和建模，并对实验项目进行了系统分析和建模。

Experimente in jüngster Vergangenheit haben gezeigt, dass die Deposition der potentiellen Energie hochgeladener Ionen an der Oberfläche von Ionenkristallen die Erzeugung nm-großer Strukturen initiieren kann. Da die Ursache der Strukturerzeugung in der potentiellen Energie der Ionen liegt, kann im Gegensatz zu herkömmlichen Lithographieverfahren mit sehr langsamen Projektilen gearbeitet werden. Damit lassen sich Strukturänderungen an der Oberfläche erzeugen ohne dabei Strahlenschäden im Inneren des Festkörpers hervorzurufen. Für den Prozess der Nanostrukturierung durch hochgeladene Ionen konnten in Vorarbeit der Antragsteller erstmalig Modelle erarbeitet werden, in denen am konkreten Beispiel der Oberflächen CaF2 und KBr lokale Phasenübergänge sowie Defekterzeugung als Ursachen der Strukturerzeugung identifiziert wurden. Die Adaption dieser Modelle auf den allgemeinen Fall der Ionenkristalloberflächen stellt eines der Hauptziele des vorliegenden Forschungsprojektes dar. In systematischen Untersuchungen mittels Rasterkraftmikroskopie sollen dazu die expliziten Einflüsse von kinetischer und potentieller Projektilenergie sowie von Synergieeffekten aus beiden Energien auf den Prozess der Strukturerzeugung herausgestellt werden. Die gezielte Variation von Ionenauftreffwinkel und Oberflächentemperatur soll dabei ein möglichst detailliertes Bild über die Quantität dieser Abhängigkeiten auf unterschiedlichen Ionenkristalloberflächen liefern. Weiter wird angestrebt, durch Variationen der genannten Parameter Aufschluss über den Zusammenhang zwischen den Mechanismen der Defekterzeugung und der Phononenanregung bei der Erzeugung individueller Nanostrukturen zu erlangen. Der essentiellen Fragestellung nach der inneren Struktur der erzeugten Nanostrukturen, d.h. nach der chemischen Zusammensetzung sowie der kristallographischen Ordnung, soll im vorliegenden Projekt erstmalig in Untersuchungen mittels Transmissionselektronenmikroskopie nachgegangen werden. Die bestehende internationale Zusammenarbeit bei der Projektierung der Experimente sowie bei der systematischen Analyse und Modellierung der Messergebnisse mit der Technischen Universität Wien, soll im Rahmen dieses Projektes fortgesetzt und weiter vertieft werden.