Entwicklung und Untersuchung neuer Mikrostrukturen zur Messung statischer und dynamischer Kräfte

在neutiger Kraftaufnehmer soll entwickelt und untersucht werden， bei dem dnnfilm - Dehnungsmessstreifen (dnnfilm - dms) als Kraftmesselemente direckt auf ausgewählte Verformungskörper aufgebracht werden。Damit können die bekannten Nachteile der klassischen, aufgeklebten Folien-DMS, wie Verfälschung der Messung von kleinen Kräften durch Kraftnebenschluss zwischen Verformungskörper und Klebeschicht mit Folien-DMS, begrenzte temperaturfestkeit der Polymerfolie sowie der unbekkante einfuss der Klebeschicht bei dynamischen Kräften, vermieden werden, ohne aufdie Vorteile der hochentwickelten elektrischen Messtechnik zur Auswertung einer brkkenschaltung verzichten zu m<s:1> ssen。Sowohl statische也auch dynamische Kräfte sollen mit neuartigen Kraftaufnehmer gemessen werden。[1] [endnoteref: 1] [endnoteref: 1] [endnoteref: 1] [endnoteref: 1] [endnoteref: 1] [endnoteref: 1] [endnoteref: 1]此外，该公司还推出了一项创新技术，即微型传感器（微米级）Größe vorgeshen。激光扫描系统研究：激光扫描系统研究：激光扫描系统研究：激光扫描系统研究基于<s:1> die Optimierung des Sensors (a.a hinsichtlich Schicht, struckturr and materials) / / / / / / / / / / / / / / / / / / / / /

Ein neuartiger Kraftaufnehmer soll entwickelt und untersucht werden, bei dem Dünnfilm- Dehnungsmessstreifen (Dünnfilm-DMS) als Kraftmesselemente direkt auf ausgewählte Verformungskörper aufgebracht werden. Damit können die bekannten Nachteile der klassischen, aufgeklebten Folien-DMS, wie Verfälschung der Messung von kleinen Kräften durch Kraftnebenschluss zwischen Verformungskörper und Klebeschicht mit Folien-DMS, begrenzte Temperaturfestigkeit der Polymerfolie sowie der unbekannte Einfluss der Klebeschicht bei dynamischen Kräften, vermieden werden, ohne auf die Vorteile der hochentwickelten elektrischen Messtechnik zur Auswertung einer Brückenschaltung verzichten zu müssen. Sowohl statische als auch dynamische Kräfte sollen mit dem neuartigen Kraftaufnehmer gemessen werden. Die Verwendung nur eines Sensorelementes für beide Messgrößen (statisch und dynamisch) bei gleichzeitiger Verbesserung der Messgenauigkeit stellt eine wesentliche Neuerung dar. Als weitere Innovation ist eine Miniaturisierung des Sensors auf einige Mikrometer Größe vorgesehen. Für die Strukturierung der mittels Kathodenzerstäubungsverfahren erzeugten Sensorschichten soll neben dem photolithographischen Verfahren auch ein UV-Laser mit Scannersystem eingesetzt werden. Basis für die Optimierung des Sensors (u. a. hinsichtlich Schicht, Struktur und Material) ist die metrologische Charakterisierung des neu entwickelten Kraftaufnehmers u. a. in den Kraft-Normalmesseinrichtungen der PTB.