Modellierung der reaktiven Prozesse bei der Abscheidung von siliziumhaltigen Oxidschichten mittels lokal wirksamer Atmosphärendruckplasmaquelle

从数量上看，这是一种很好的分析方法，因为它是一种新的材料。在塑料机械和半机械设备下，流体动力装置模型被设计成了一个完整的模型。在这两个过程中，我们进行了更多的实验，以便更好地理解这些问题。这是一种新的技术，它的目的是为了更好地满足人们的需求。在这两种情况下，我们对此进行了分析。敏感度分析手套参数的变化和实际操作的优化性，使之更加有效。

Gegenstand des Vorhabens ist die Analyse der Volumen- und Oberflächenprozesse, die bei Anwendung eines nichtthermischen Atmosphärendruck-HF-Kapillarplasmas maßgeblich zur Erzeugung siliziumhaltiger Oxidschichten auf einem Substrat führen. Die Untersuchungen erfolgen mittels hydrodynamischer Modellierung unter Berücksichtigung der Plasmachemie und der Schichtbildungsprozesse. Der hohe Komplexitätsgrad der beteiligten Prozesse erfordert eine enge Kopplung der Modellierung mit experimentellen Untersuchungen der im Volumen erzeugten Teilchen sowie der Struktur und Zusammensetzung der Schicht. Ziel ist das bessere Verständnis der plasmachemischen Reaktionspfade und ihre Wirkung auf Zusammensetzung und Struktur der abgeschiedenen Schicht. Insbesondere soll der Einfluss der Betriebsbedingungen, wie Strömungsgeschwindigkeit von Prozess- und Reaktivgas, Leistungseinkopplung und Gemischzusammensetzung, auf die Schichtbildung analysiert werden. Die Sensitivitätsanalyse mittels breiter Parametervariation kann praxisorientierte Beiträge zur Optimierung der Effizienz des Umsatzes der reaktiven Beimischungen bei der Abscheidung liefern.