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Synergismen bei der Schichtabscheidung mit gepulsten reaktiven Plasmen (B 05)
脉冲反应等离子体层沉积的协同作用 (B 05)
基本信息
- 批准号：5398353
- 负责人：
- 金额：--
- 依托单位：
- 依托单位国家：德国
- 项目类别：Collaborative Research Centres
- 财政年份：2003
- 资助国家：德国
- 起止时间：2002-12-31 至 2005-12-31
- 项目状态：已结题
- 来源：
- 关键词：
项目摘要
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没有摘要
项目成果
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