Plasmabehandlung/beschichtung mit integrierter Metall-/Isolatorbeschichtung

Am Lehrstuhl für Prozestechnologie des IMTEK弗赖堡韦尔登insbesondere Fertigungsverfahren untersucht，welche zur Herstellung von mikro- und nanostrukturierten Komponenten und Systemen eingesetzt韦尔登.光刻、电镀、超精密加工（UPM）、电化学加工（ECM）和微细电火花线切割（WEDM）以及高精度加工技术都是非常重要的。Am FMF韦尔登Verfahren zur Polymerherstellung und Verarbeitung erforscht und entwickelt.如果他们在工作中遇到了韦尔登，那么他们的技术就会更好。植物叶面技术的整体效果取决于叶面和基质的整体形成系统的基本原理。在建筑物的底部，有一个小的框架和一个小的结构，这也是韦尔登建筑的一个特殊功能。大别山是一个由无机、有机和多元材料构成的金属化和隔离的工业基地。PVD工艺中，金属（如Cr、Ti、Al、Ag、W等）的表面粗糙且均匀，非金属，如氮化物、氧化物等，以及在薄膜和垂直基底上的聚合物-垂直材料，带有或带有掩模，非常好。

Am Lehrstuhl für Prozesstechnologie des IMTEK Freiburg werden insbesondere Fertigungsverfahren untersucht, welche zur Herstellung von mikro- und nanostrukturierten Komponenten und Systemen eingesetzt werden können. Die Lithographie, Galvanik, Ultra-Präzisions-Bearbeitung (UPM), Elektrochemische Abtragen (ECM) und das Funkenerosive Mikrodrahtschneiden (WEDM) und die Heißprägetechnologie sind Beispiele dafür. Am FMF werden Verfahren zur Polymerherstellung und Verarbeitung erforscht und entwickelt. Einen ungleich größeren Wert haben diese Technologien, wenn sie im Zusammenhang als Prozesskette genutzt werden. Im Rahmen der Gesamtkonzeption des geplanten Folientechnikums dient die beantragte Anlage der gezielten Erstellung von großformatigen Systemen auf Folien und vergleichbaren Substraten. Mit der beantragten Anlage sollen die miniaturisierten und mikrostrukturierten Bereiche auch funktionsspezifisch weiter angepasst werden können. Dabei ist das Aufbringen von metallenen und isolierenden Schichten aus anorganischen, organischen und Multischichtmaterialien geplant. Mit der PVD Beschichtungsanlage wird die großflächige und homogene Schichtabscheidung von Metallen, wie Cr, Ti, Al, Ag, W etc., Nichtmetallen, wie Nitriden, Oxiden etc. und Polymer-Verbundwerkstoffe auf Folien und vergleichbaren Substraten, mit oder ohne Masken, möglich gemacht.