µ-GAS Entwicklung eines Miniaturisierten Gassensors auf der Basis der Mikrosystemtechnik (Forschungssemester)

1 .基于微系统技术的红外气体传感器系统，基于微系统技术的红外气体传感器系统，基于微系统技术的红外传感器系统。在德国，我们的问题是如何解决的，我们的问题是如何解决的，我们的问题是如何解决的。Der Einfluss dieser Matrix muss durch geeignete Maßnahmen kompensiert werden, um in the hlfreies Analysenergebnis zu erhalten。inbesonere bei der Analyse von kohlenwasserstofofen ergebenich ich erheblich problem, da die unschiedlichen Kohlenwasserstoffe, augrund irer molecular strucktur， ähnliche Absorptionsspektren durch die entsprechende Rotations-Schwingungsübergänge (z.b.h - c Schwingung) aufweisen。Die Übergänge f<e:1> r Die烷烃liegen im Spektralbereich um 3,4¿m。(…)Gasanalytische Untersuchungen erfordern .定量分析（单位：ppm，体积-%），每一段时间（单位：ppm，体积-%），每一段时间（单位：ppm，体积-%），每一段时间（单位：ppm，体积-%）。Dies ist inbesonere f<s:1> r infrared - gassensoren mit ininfachen干涉滤光片möglich， da die Überlappung der Absorptionsspektren größer ist als die spektrale Auflösung (100 nm) der ingesetzten干涉滤光片。所有的定性分析，也包括定量分析，kohlenwasserstoffemisschist . infacfachen filtertermeterm . terterm .夜möglich。

Im Rahmen des Forschungsprojektes ¿-GAS sollen die Grundlagen für miniaturisierte Infrarot-Gassensoren, auf der Basis der Mikrosystemtechnik, erarbeitet werden. Eine Hauptproblematik von Gassensoren, ist die Querempfindlichkeit zu anderen gasförmigen Störkomponenten, die ebenfalls im Gasgemisch vorhandenen sind. Der Einfluss dieser Matrix muss durch geeignete Maßnahmen kompensiert werden, um ein fehlerfreies Analysenergebnis zu erhalten. Insbesondere bei der Analyse von Kohlenwasserstoffen ergeben sich hier erheblich Probleme, da die unterschiedlichen Kohlenwasserstoffe, aufgrund ihrer molekularen Struktur, ähnliche Absorptionsspektren durch die entsprechende Rotations-Schwingungsübergänge (z.B. H-C Schwingung) aufweisen. Die Übergänge für die Alkane liegen im Spektralbereich um 3,4 ¿m. (...) Gasanalytische Untersuchungen erfordern neben der quantitativen Aussage (z.B. in ppm oder Vol.-%) auch eine eindeutige Zuordnung zu dem zu analysierenden Gas, ohne den Einfluss der Querempfindlichkeit. Dies ist insbesondere für Infrarot-Gassensoren mit einfachen Interferenzfiltern nicht möglich, da die Überlappung der Absorptionsspektren größer ist als die spektrale Auflösung (100 nm) der eingesetzten Interferenzfilter. Eine eindeutige qualitative, als auch quantitative Analyse komplexer Kohlenwasserstoffgemische ist mit einfachen Filterfotometern daher nicht möglich.