Ofensystem zur Oxidation und Ausheilung von Halbleiterbauelementen

德国莱斯图尔电力公司(LEB)与德国麻省理工学院夫劳恩霍夫综合技术研究所(IISB)合作，建立了30 Jahren Forschung and Entwickrun auf Dem Gebiet der HalbleiterTechnologie。我是弗里德里希-亚历山大-大学(FAU)的工作人员，他们的工作和技术分析都是为了实现这一目标。Das beantragte in vfensystem soll ein vfenhandenes of fensystem Aus Dem Jahr 1986 erweitn，bzw.den zusätzlichen and forderungen der“more more Moore”-Technologien Gerecht den.这是一个很难解决的问题，也就是解决这个问题的办法之一，就是解决问题，解决问题，解决问题。从今天起，我们将继续为新的商业模式而努力，并在此基础上继续努力。最先进的--Halbleiterfertiwargsgeräte Wie das Neue Ofensystem Sind auch wichtig beder der Ausbildung des akademischen Nachwuchses.

Der Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente (LEB) betreibt zusammen mit dem Fraunhofer Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie (IISB) seit 30 Jahren Forschung und Entwicklung auf dem Gebiet der Halbleitertechnologie. Im Reinraumlabor der Friedrich-Alexander-Universität (FAU) steht dafür eine umfangreiche Prozess- und Analytiktechnik zur Verfügung, die die gesamte Herstellungskette von der Halbleiterscheibe bis zur integrierten Schaltung umfasst. Das beantragte Ofensystem soll ein vorhandenes Ofensystem aus dem Jahr 1986 ersetzen und die Prozessmöglichkeiten wesentlich erweitern, bzw. den zusätzlichen Anforderungen der "More than Moore"-Technologien gerecht werden. Bei dem vorhandenem Ofensystem stellt vor allem die mangelnde Zuverlässigkeit sowie das Beschaffen von Ersatzteilen bzw. die Reparatur von defekten Komponenten ein großes Problem dar, da der Hersteller das vorhandene System seit längerem nicht mehr unterstützt. Das neue Ofensystem soll zudem die Prozessierungsmöglichkeiten des LEB in Bezug auf seine neue Forschungsschwerpunkte, vor allem Bauelemente auf Basis von Siliciumcarbid und anorganische Dünnfilmelektronik, erweitern. State-of-the-Art-Halbleiterfertigungsgeräte wie das neue Ofensystem sind auch wichtig bei der Ausbildung des akademischen Nachwuchses.