Untersuchung der Reaktionschemie von Silizium-haltigen Precursoren in einem Mikroplasmajet mittels Molekularstrahl-Massenspektrometrie

来自前体的薄膜的包装是一种技术性的包装，在规则中被直接印刷为韦尔登。Gelänge es allerdings，diese Plasmasynthese auch beach beherrschen，ergäben sich zahlreiche Vorteile wie eine leichtere Integration der Plasmabeschichtung in Produktionsabläufe or die Anwendung dieser Plasmen für biomedizinische Anwendungen，bei denen das zu behandelnde Objekt nicht dem Vakuum ausgesetzt韦尔登kann. Ziel des Vorhabens is es，die Herstellung von dünnen siliziumhaltigen Filmen mittels Plasmasynthese bei Atmosphere ärendruck zu realisieren. Solche Filme dienen als elektronische Materialien（Si：H）oder als Diffusionsbarrieren（SiO2）.大足将在200米的高度上用一个电测站从一个同轴Kapillaren系统中获得一个微等离子体。在13.56 MHz的等离子体中，高功率的氩气或氦气将被用作一种非线性的等离子体。在这种等离子体硅烷单体中注入人，因此韦尔登反应性Teilchen erzeugt，die bei der Wechselechtung ung mit einer Oberfläche zu Beschichtung führen。这是一种在微等离子体中使用分子激光质谱测量的反应方案。Entladung自身的特性包括被动发射光谱和电诊断。

Die Herstellung von dünnen Filmen aus beliebigen Precursoren ist herausragendes Anwendungsgebiet technischer Plasmen, die in der Regel bei niedrigen Drücken betrieben werden. Gelänge es allerdings, diese Plasmasynthese auch bei Atmosphärendruck zu beherrschen, ergäben sich zahlreiche Vorteile wie eine leichtere Integration der Plasmabeschichtung in Produktionsabläufe oder die Anwendung dieser Plasmen für biomedizinische Anwendungen, bei denen das zu behandelnde Objekt nicht dem Vakuum ausgesetzt werden kann. Ziel des Vorhabens ist es, die Herstellung von dünnen siliziumhaltigen Filmen mittels Plasmasynthese bei Atmosphärendruck zu realisieren. Solche Filme dienen als elektronische Materialien (Si:H) oder als Diffusionsbarrieren (SiO2). Dazu wird ein Mikroplasmajets bestehend aus einem System koaxialer Kapillaren mit einem Elektrodenabstand im Bereich von 200 Mikrometer verwendet. In dieser Anordnung wird ein 13.56 MHz-Plasma erzeugt, wobei der hohen Teilchenfluss an Argon oder Helium das Ablaufen einer Nichtgleichgewichtschemie gewährleistet. Injiziert man in dieses Plasma silan-haltige Monomere, so werden reaktive Teilchen erzeugt, die bei der Wechselwirkung mit einer Oberfläche zu Beschichtung führen. Es ist geplant, die Reaktionschemie in dem Mikroplasmajet mittels Molekularstrahl-Massenspektrometrie zu untersuchen. Die Charakterisierung der Entladung selbst erfolgt mittels passiver Emissionsspektroskopie und elektrischer Diagnostik.