Ultrasensitive mass sensing utilizing weakly-coupled micro resonators' mode localization, with nonlinear feedback control

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本研究課題は，MEMSレゾネータを用いた微小質量計測にて，超高感度化を可能にする新しい計測原理を提案し，バイオナノセンシングにおける未踏の微小質量計測を実現する，超高感度マイクロセンサの計測原理の提案と開発を研究目的としている．具体的には，自励発振する弱連成バーチャルレゾネータアレイと流路形成カンチレバーを組み合わせた制御手法の提案と実装を行い，計測可能下限質量を明らかにする．令和４年度は，感度向上のために同一特性の弱連成レゾネータを多数構築する必要がある課題（課題①），および粘性計測環境下での超高感度質量計測の実現のため新たな計測原理を構築する必要があるという課題（課題②）の解決に取り組んだ．【センサの設計と製作(課題①)】MEMS技術によるレゾネータの製作を計画していたが，ウェットエッチングと拡散接合による，内部流路を有したステンレスレゾネータを製作した．この方法はMEMS製作に必要な高価な設備なしに製作可能な利点がある．これを用いて非線形速度フィードバック制御により自励発振させつつ密度計測を行った．【バーチャルレゾネータのFPGAでの実装(課題①)】多自由度弱連成化による高感度化に向けて，バーチャルの1自由度レゾネータの実装に取り組んだ．FPGA単体で，レゾネータの運動を意図通り演算できたことまで確認した．令和５年度に実体レゾネータとの連成を行うことにより，高感度の質量・密度計測に発展させる．【veering理論の解析(課題①&②)】弱連成にするほど高感度化するのがモード局在を用いた計測理論であるが，弱くしすぎると感度が悪化するという結果が得られている．これを理論的に解明するためにveering現象(弱連成時に固有周波数と対応するモードが変化する現象)の文献を手掛かりに解析を進めている．令和５年度に解析的に明らかにしたのち，実験による検証を行う．