Feldemissionsuntersuchungen an Kohlenstoff-Nanostrukturen, amorphen Kohlenstoff- und dielektrischen Diamantschichten

从Basierte Materialschichten sind aufgrund ihrer Feldisseigenschaften als kalte Kathoden für vakuummikroelektronische Anwendungen(Z.B.Flachbildschirme and Mikrowellenverstärker)无休止。Systematische Messungen MIT Feldemissrastermikroskop(FERM)an Kohlenstoff-Nanostrukturen and elektronisch leitenden Diamantschichten haben ergeben，da？Einsat zFeldstärken Unterhalb 10V/umBe STARKER GERISHER Feldüberhöhren duch ch Nanoröhren On Diamantchichtete Sikrospitten Zwar möglaber noch nch nich nich nontrolliert erichbar sind.Dagegen Tritt eine in insische，noch unverStandene Feldemsionen von insische en Kohlenstoff-und dielektrischen Diamantschichten erst oberhalb von 200V/µm auf.在我们的研究中，我们发现了一种新的方法--平行法。Eineseits Sollen Kohlenstoff-Nanostrukturen bzgl.在Enger Kooperation MIT den Herstellern für kalte Kathoden Optimiert den Enger Kooperation MIT den Herstellern für kalte Kathoden Optimiert den Enger Kooperation MIT den Herstellern für kalte Kathoden Optimiert den.发射器的稳定性很好，发射极不稳定，不能直接从矩阵中返回。无论是哪一种情况，都是由机械制造厂和机械制造厂的机械制造厂制造的。Dazu Sollen zahlreiche Schicht参数herstellerseitig variert and modellvorstellungenüberprüft.

Kohlenstoffbasierte Materialschichten sind aufgrund ihrer Feldemissionseigenschaften als kalte Kathoden für vakuummikroelektronische Anwendungen (z.B. Flachbildschirme und Mikrowellenverstärker) interessant. Systematische Messungen mit dem Feldemissionsrastermikroskop (FERM) an Kohlenstoff-Nanostrukturen und elektronisch leitenden Diamantschichten haben ergeben, daß Einsatzfeldstärken unterhalb 10 V/µm bei starker geometrischer Feldüberhöhung durch Nanoröhren oder diamantbeschichtete SiMikrospitzen zwar möglich aber noch nicht kontrolliert erreichbar sind. Dagegen tritt eine intrinsische, noch unverstandene Feldemission von amorphen Kohlenstoff- und dielektrischen Diamantschichten erst oberhalb von 200 V/µm auf. In diesem Forschungsvorhaben sollen deshalb parallel zwei Hauptziele verfolgt werden. Einerseits sollen Kohlenstoff-Nanostrukturen bzgl. Stärke, Uniformität und Stabilität der Feldemission systematisch charakterisiert und in enger Kooperation mit den Herstellern für kalte Kathoden optimiert werden. Dabei wird auch eine Stabilisierung der Emitter durch Einbettung in einer dielektrischen Matrix angestrebt. Andererseits sollen die Elektronentransport- und Emissionsmechanismen von amorphen Kohlenstoff- und dielektrischen Diamantschichten mittels FERM und energiespektroskopischen Messungen aufgedeckt werden. Dazu sollen zahlreiche Schichtparameter herstellerseitig variiert und Modellvorstellungen überprüft werden.