Dynamische in situ-Untersuchung der Entstehung von kompressiven Spannungen in Bornitrid-Schichten und des Einflusses von Verunreinigungen und Wachstumsparametern

Ziel des beantragten Vorhabens is die Reduzierung der intrinsischen kompressiven Spannungen in Schichten aus kubischem Bornitrid（c-BN）.这是由于机械制造商错误韦尔登的操作造成的。利用椭圆偏振法和红外光谱法对BN-Schicht沉积物进行动态相态分析，对沉积物的动态相态参数进行动态相态分析。本文采用Hinblick方法对c-BN与h-BN的相互作用进行了参数化研究，并对BN-Schichten韦尔登进行了离体的Hinsichtlich Zusammensetzung（Rutherford Backscattering Spectroscopy- RBS，Elastic Recoil Detection - ERD）和结构分析（HRTEM，Generalized Ellipsometry - GE）。通过离子束屏蔽（IBAD）的作用，使BN-屏蔽层在高压（HV-）床层中的O、Fe、W、Ar等元素的浓度降低。通过磁控溅射法和原位法对超高压（UHV）真空下的韦尔登进行了内部扫描和BN相培养分析。

Ziel des beantragten Vorhabens ist die Reduzierung der intrinsischen kompressiven Spannungen in Schichten aus kubischem Bornitrid (c-BN). Dieses Ziel soll durch die Verbesserung des Verständnisses der zu den Spannungen führenden Mechanismen erreicht werden. Durch die simultane dynamische in-situ-Messung der Spannungen (tiefenaufgelöst) in Kombination mit in-situ-Ellipsometrie und die dynamische Phasenanalyse der aufwachsenden BN-Schicht mit in-situ-IR-Spektroskopie wird der Einfluß von Änderungen der Depositions-Parameter auf die Spannung und die Phasenbildung dynamisch analysiert. Hierbei wird insbesondere die Parametergrenze für den Übergang von c-BN nach h-BN mit Hinblick auf die Minimierung der intrinsischen Spannungen untersucht.Die abgeschiedenen BN-Schichten werden ex-situ hinsichtlich ihrer Zusammensetzung (mit Rutherford Backscattering Spectroskopy - RBS, Elastic Recoil Detection - ERD) und Struktur (HRTEM, Generalized Ellipsometry - GE) analysiert. Der Einfluß der Konzentration der natürlichen Verunreinigungen (O, Fe, W, Ar) in den unter Hochvakuum-(HV-)Bedingungen mit Hilfe der ionenstrahlgestützten Schichtabscheidung (IBAD) hergestellten BN-Schichten auf die Spannungen wird untersucht. Hierzu werden Schichten unter Ultrahochvakuum-(UHV-)Bedingungen durch Magnetron-Sputtern hergestellt und in-situ die inneren Spannungen und die BN-Phasenbildung analysiert.