Kondensationskoeffizienten, Keimbildung und Wachstum von Metallen auf Polymeren

Trotz der großen technischen Bedeutung von metal / Polymeren verbunden ist wenig <e:1> ber den Kondensationskoeffizienten C von Metallen auf Polymeren bekant。die gilt in der microelektronik wiichtigen neuen Dielektrika mit sehr niedrigen Dielektrizitätskonstanten。在der Gruppe der tragsteller ist es erstmals gelungen， kondensationskizizen定量评估和die winkelverilung der reemittierten原子的vermessen。Abhängig von der Art der metal / polymer - combinund der temperature zeigte siveine enorme Variabilität von C um viele Größenordnungen, und die winkelverilung erwies sials statistisch und unabhängig vom Einfallswinkel。zel dieses Vorhabens ist es, den Einfluß von Größen wie Oberflächenenergie des Polymers, chemische Wechselwirkung zwischen metal and Polymer and der Polymerdynamik (a-, b-, g-Übergänge) zu klären。Ferner卖der Keimbildungsprozeß，因为他认为他的理论是正确的，他的理论是正确的。schließ ßlich sollen aus Vergleichen von Wachstumstheorien mit experimenten Werten C（t, t）和der maximalen Clusterdichte Nmax(R, t) f<e:1> R den Fall des Volmer-Weber-Wachstums吸附能，aktivierungsenerggien der Oberflächendiffusion和kritische Keimgrößen bestestimmt werden （t: Zeit, t: temperature, R: aufdampate）。大祖是一个伟大的人，他是一个伟大的人。weiterin soll zu Erfassung der erforderlichen großen Datenmengen ein bereits erfolgrerich getestetes kalibrierfähiges Verfahren einer组合of photoeltronenspektroskie and transmissionselektronenmicroskie eingesetzt werden。Die Untersuchungen lelisten（听）每个人的声音（听）每个人的声音（听）

Trotz der großen technologischen Bedeutung von Metall/PolymerVerbunden ist wenig über den Kondensationskoeffizienten C von Metallen auf Polymeren bekannt. Dies gilt insbesondere für die in der Mikroelektronik wichtigen neuen Dielektrika mit sehr niedrigen Dielektrizitätskonstanten. In der Gruppe der Antragsteller ist es erstmals gelungen, Kondensationskoeffizienten quantitativ zu bestimmen und die Winkelverteilung der reemittierten Atome zu vermessen. Abhängig von der Art der Metall/Polymer-Kombination und der Temperatur zeigte sich eine enorme Variabilität von C um viele Größenordnungen, und die Winkelverteilung erwies sich als statistisch und unabhängig vom Einfallswinkel. Ziel dieses Vorhabens ist es, den Einfluß von Größen wie Oberflächenenergie des Polymers, chemische Wechselwirkung zwischen Metall und Polymer und der Polymerdynamik (a-, b-, g-Übergänge) zu klären. Ferner soll der Keimbildungsprozeß, insbesondere hinsichtlich der Frage der statistischen oder bevorzugten Nukleation, untersucht werden. Schließlich sollen aus Vergleichen von Wachstumstheorien mit experimentellen Werten C(t,T) und der maximalen Clusterdichte Nmax(R,T) für den Fall des Volmer-Weber-Wachstums Adsorptionsenergien, Aktivierungsenergien der Oberflächendiffusion und kritische Keimgrößen bestimmt werden (t: Zeit, T: Temperatur, R: Aufdampfrate). Dazu ist vorgesehen, die neu entwickelte Radiotraceranlage auszubauen. Weiterhin soll zu Erfassung der erforderlichen großen Datenmengen ein bereits erfolgreich getestetes kalibrierfähiges Verfahren einer Kombination aus Photoelektronenspektroskopie und Transmissionselektronenmikroskopie eingesetzt werden. Die Untersuchungen leisten auch einen wesentlichen Beitrag zur quantitativen Oberflächenanalytik.