Keimbildung und Kornselektion beim Wachstum metallischer Schichten auf einem amorphen Substrat

(1) Die struckturbildung bem Wachstum dd<e:1>（金属材质）Schichten（无定形基材）Schichten（无定形基材）Bedeutung（物理材质）Schichten（特征材质）。Beispiele daf<s:1> (r) sind die empfindliche Texturabhängigkeit der Infrarotstrahlungsreflektivität von Wärmeschutzschichten auf glass (r) oder die strukturabhängigen Eigenschaften von Metallisierungsschichten f<e:1> (r) leitende Verbindungen auf Halbleiterchips。[1][1][1][1][1][1][1][1][1][1]。Um zu einem atomistischen Verständnis der grundlegenden Prozesse bei der struckturbilung auf amorphen substrate - keimbilung, Kornselektion and Texturentwicklung - zu gelangen, sollen in forschungsproject under Bedingungen, die auschala definiert and vollständig ereduzierbar sind， Wachstum and struckturbilung in situ mitels温控器rastersondenkroskopie and Elektronenbeugung untersucht werden。基础研究进展与进展Verständnis werden ionenstrah method zur Manipulation von Keimbildung， Kornselektion and Schichtrauigkeit weiterentwickelt。

Die Strukturbildung beim Wachstum dünner metallischer Schichten auf einem amorphen Substrat ist von herausragender Bedeutung für die physikalischen Eigenschaften dieser Schichten. Beispiele dafür sind die empfindliche Texturabhängigkeit der Infrarotstrahlungsreflektivität von Wärmeschutzschichten auf Glas oder die strukturabhängigen Eigenschaften von Metallisierungsschichten für leitende Verbindungen auf Halbleiterchips. Im Gegensatz zum epitaktischen Schichtwachstum sind die experimentellen Untersuchungen der Strukturbildung auf amorphen Substraten bislang wesentlich phänomenologisch. Um zu einem atomistischen Verständnis der grundlegenden Prozesse bei der Strukturbildung auf amorphen Substraten - Keimbildung, Kornselektion und Texturentwicklung - zu gelangen, sollen im Forschungsprojekt unter Bedingungen, die auf atomarer Skala definiert und vollständig reproduzierbar sind, Wachstum und Strukturbildung in situ mittels temperaturvariabler Rastersondenmikroskopie und Elektronenbeugung untersucht werden. Basierend auf diesem Verständnis werden Ionenstrahlmethoden zur Manipulation von Keimbildung, Kornselektion und Schichtrauigkeit weiterentwickelt.