Keimbildung und Kornselektion beim Wachstum metallischer Schichten auf einem amorphen Substrat

非晶基底上金属层生长的成核和晶粒选择

• 批准号: 5287894
• 负责人: Professor Dr. Thomas Werner Michely
• 金额: --
• 依托单位: Institut für Experimentalphysik
• 依托单位国家: 德国
• 项目类别: Research Grants
• 财政年份: 2001
• 资助国家: 德国
• 起止时间: 2000-12-31 至 2006-12-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/5287894?language=en
• 关键词: Keimbildung; und; Kornselektion; beim; Wachstum

Die Strukturbildung beim Wachstum dünner metallischer Schichten auf einem amorphen Substrat ist von herausragender Bedeutung für die physikalischen Eigenschaften dieser Schichten. Beispiele dafür sind die empfindliche Texturabhängigkeit der Infrarotstrahlungsreflektivität von Wärmeschutzschichten auf Glas oder die strukturabhängigen Eigenschaften von Metallisierungsschichten für leitende Verbindungen auf Halbleiterchips. Im Gegensatz zum epitaktischen Schichtwachstum sind die experimentellen Untersuchungen der Strukturbildung auf amorphen Substraten bislang wesentlich phänomenologisch. Um zu einem atomistischen Verständnis der grundlegenden Prozesse bei der Strukturbildung auf amorphen Substraten - Keimbildung, Kornselektion und Texturentwicklung - zu gelangen, sollen im Forschungsprojekt unter Bedingungen, die auf atomarer Skala definiert und vollständig reproduzierbar sind, Wachstum und Strukturbildung in situ mittels temperaturvariabler Rastersondenmikroskopie und Elektronenbeugung untersucht werden. Basierend auf diesem Verständnis werden Ionenstrahlmethoden zur Manipulation von Keimbildung, Kornselektion und Schichtrauigkeit weiterentwickelt.

Die Strukturbildung beim Wachstum dünner metallischer auf einem amorphen Substrat ist von herausragender Bedeutung für die phykalischen Eigenschaften dieser Schichten.其目的是为了解决在 Halbleiterchips 上的金属化结构的结构特征。 Im Gegensatz zum epitaktischen Schichtwachstum sind die Experimentellen Untersuchungen der Strukturbildung auf amorphen Substraten bislang wesentlich phänomenologisch. UM zu einematomistischen Verständnis der grundlegenden Prozesse bei der Strukturbildung auf amorphen Substraten - Keimbildung, Kornselektion und Texturentwicklung - zu gelangen, sollen im Forschungsprojekt unter Bedingungen, die auf atarer Skala definiert und 完全重现性、瓦赫结构和原位结构温度变量 Rastersondenmikroskopie 和 Elektronenbeugung untersucht werden。 Basierend auf diesem Verständnis werden Ionenstrahlmethoden zur Manipulation von Keimbildung, Kornselektion und Schichtrauigkeit weiterentwickelt.