Physikalische und chemische Modifikation von LaF3/Pt-Dünnschichtsystemen auf Silizium während und nach thermischer Ultrakurzzeitbehandlung

in chemischer halbletersensor auf Basis - eines auf - auf -硅片abgeschiedenen敏感型传感器；nnschichtsystems Ionenleiter (LaF3)/Edelmetall (Pt) kann durch极端kurze热脉冲（10µs） aktivierwerden。在此基础上，提出了一种新的方法，即选择电极、敏感电极、定向电极、宽频电极、栅极电极和优化电极。Zur Messung der Oberflächentemperatur mit einer Auflösung im nanosekdenbereich soll die von unentwickelte problemspezifische Lösung weiterentwickelt werden。模型技术已在Ziel上建立，温度模拟在Bauelement上建立。Schwerpunkt der zweiten项目阶段：Schwerpunkt der zweiten项目阶段：Schwerpunkt der zweiten项目阶段：Schwerpunkt der zweiten项目阶段：Schwerpunkt der zweiten项目阶段：Schwerpunkt der zweiten项目阶段：Schwerpunkt der zweiten项目阶段：Schwerpunkt der zweiten项目阶段：Schwerpunkt der zweiten项目阶段：Kinetische Untersuchungen des Prozesses solsolin subs - bericherfolgen。in model der Veränderungen im Grenzflächengebiet soll . auf Basis von Untersuchungen Untersuchungen Untersuchungen Untersuchungen Untersuchungen Untersuchungen untersugen untersugen unterzung， XPS， AFM， ir - spectra and ms -热重- kopplung erarbeitet。

Ein chemischer Halbleitersensor auf Basis eines auf dem Siliciumwafer abgeschiedenen sensitiven Dünnschichtsystems Ionenleiter (LaF3)/Edelmetall (Pt) kann durch extrem kurze thermische Impulse ( 10 µs) aktiviert werden. Die Methodik der ortsselektiven Heizung der sensitiven Schichten durch direkte elektrische Heizung der zum Widerstandsheizer modifizierten Pt-Gateelektrode ist für diesen Zeitbereich zu optimieren. Zur Messung der Oberflächentemperatur mit einer Auflösung im Nanosekundenbereich soll die von uns entwickelte problemspezifische Lösung weiterentwickelt werden. Modellrechnungen haben das Ziel, die Temperaturverteilung im Bauelement zu simulieren. Schwerpunkt der zweiten Projektphase sind Grundlagenuntersuchungen zu den bei der Alterung und Aktivierung auftretenden sehr schnellen chemischen und strukturellen Veränderungen der dünnen Schichten. Kinetische Untersuchungen des Prozesses sollen im sub-µs-Bereich erfolgen. Ein Modell der Veränderungen im Grenzflächengebiet soll auf Basis von Untersuchungen unter Nutzung von XPS, AFM, IR-Spektroskopie und MS-Thermogravimetrie-Kopplung erarbeitet werden.