Nano measuring technique (A02)
Nano measuring technique (A02)
纳米测量技术（A02）
批准号：
5378531
负责人：
金额：
$0.0万
依托单位国家：
德国
项目类别：
Collaborative Research Centres
财政年份：
2002
资助国家：
德国
项目状态：
已结题
起止时间：
2001-12-31 至 2012-12-31
中文摘要
翻译
in Teilprojekt A2 sollen die wissenschaftlichen Grundlagen Grundlagen derderzoptische Längenund Winkelmesssysteme sodie wissenschaftlichen Grundlagen derderzoptische, taktile and Rastersonden-Mikrotastsysteme grundlegend weiterentwickelwerden。激光激光干涉仪的研究与应用。他的sind die wissenschaftlich- technology möglichen Grenzbereiche der nanomessechnik im Hinblick auf werichge messtechnische Parameter， wie Messauflösungen bis 0.01 nm, messberiche bis 450 mm, reduzierbarkeit < 0.3 nm和Synchronität der Messachsen < 0.2 ns, auszuloten。
英文摘要
Im Teilprojekt A2 sollen die wissenschaftlichen Grundlagen für interferenzoptische Längenund Winkelmesssysteme sowie für optische, taktile und Rastersonden-Mikrotastsysteme grundlegend weiterentwickelt werden. Die Schwerpunkte liegen in der Erforschung hochgenauer und hochstabiler miniaturisierter einstrahliger lichtwellenleitergekoppelter Planspiegel-Interferometer. Es sind die wissenschaftlich-technisch möglichen Grenzbereiche der Nanomesstechnik im Hinblick auf wichtige messtechnische Parameter, wie Messauflösungen bis 0,01 nm, Messbereiche bis 450 mm, Reproduzierbarkeit < 0,3 nm und Synchronität der Messachsen < 0,2 ns, auszuloten.
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