Modellgestützte Analyse und Optimierung des dynamischen Verhaltens von Nanopositionier- und Nanomessmaschinen (Dynamik von NPM-Maschinen) (B01)

Das Teilprojekt B1 fokussiert sich auf die Realisierung von hochpräzisen Bewegengen in einem Bereich bis zu 450x450x80 mm³MIT einer Genauigkeit im nm-Bereich.Für die Entwickung von Demonstratoren Wurden mehrkörperDynamische Modelle Computer gestützt untersuht.在实验过程中，所有的系统都是最优的。从机械到机械，从现在到现在，在动力和动力系统中都存在着格伦兹贝雷奇。

Das Teilprojekt B1 fokussiert sich auf die Realisierung von hochpräzisen Bewegungen in einem Bereich bis zu 450x450x80 mm³ mit einer Genauigkeit im nm-Bereich. Für die Entwicklung von Demonstratoren wurden mehrkörperdynamische Modelle computergestützt untersucht. Die Bewertung der Ergebnisse sowie die Modellanpassung mit dem Ziel einer Optimierung des Gesamtsystems erfolgten durch experimentelle Untersuchungen. Die zukünftigen Schwerpunkte liegen im Aufzeigen der aus mechanischer Sicht existierenden Grenzbereiche in der Dynamik für Posi­tioniervorgänge und der Untersuchung verkoppelter Positioniersysteme (modulare Strukturen) mit dem Ziel der Realisierung störungstoleranter Systeme.