Elektrokeramische mikroelektromechanische Schaltelemente (MEMS) für die Hochfrequenztechnik

这位Forschungsinitiative Im车架sollen neuartige mikroelektromechanische Schalter (MEMS)和steuerbare Kapazitaten auf der基础piezoelektrischer Aktorik和thermischer Aktorik在metallodielektrischen Multilagen奥得河一个strukturellen Phasenubergangen毛皮Anwendungen在der Hochstfrequenztechnik entwickelt和untersucht了。北京微机电系统采用压电技术，采用自适应技术，采用微孔设计，采用微孔设计，采用衬底设计，采用微孔设计，采用微孔设计。基于金属-金属氧化物复合材料的热敏三苯MEMS集成电路和非热敏多晶电路。Diese Variante ist insbesonere in Hinblick auf extreme geringe mikrowellendis耗竭duch die ausschließliche Verwendung extreme verlustarmer Materialien von Bedeutung。这是一种新的研究方法，它可以帮助研究人员更好地了解微米的大小，并帮助研究人员更好地了解微米的大小。双稳Schalter lassen sich dabei pinzipiell durch mechanism verschränkte悬臂梁mitentgegengesetzter mechanche Verbiegung in Ruhezustand realisieren。Neben der linearen thermischen Ausdehnung als Aktormechanismus sollen strukturrelle Phasenübergänge in perovskit - dnnschichten auhre Eignung als Komponente eines mechanchen biateralschalters untersucht werden。研究方向：微加工技术研究与优化项目；微机械元件设计与优化项目（höchstfrequenztauglichen）；微机械元件设计与优化项目（Höchstfrequenz-Testschaltungen）；相关研究与开发项目（Höchstfrequenzeigenschaften）。

Im Rahmen dieser Forschungsinitiative sollen neuartige mikroelektromechanische Schalter (MEMS) und steuerbare Kapazitäten auf der Basis piezoelektrischer Aktorik sowie thermischer Aktorik in metallodielektrischen Multilagen oder an strukturellen Phasenübergängen für Anwendungen in der Höchstfrequenztechnik entwickelt und untersucht werden. Bei den MEMS mit piezoelektrischer Aktorik geht es um die Adaption bestehender Prozesse auf mikrowellentaugliche Substrate sowie um die Entwicklung mikrowellentauglicher Schalter- und Varaktordesigns. Neben den piezoelektrisch gesteuerten Mikroschaltern sollen rein thermisch angetriebene MEMS auf der Basis von Metall-Metalloxid Multilagen entwickelt und untersucht werden. Diese Variante ist insbesondere im Hinblick auf extrem geringe Mikrowellendissipation durch die ausschließliche Verwendung extrem verlustarmer Materialien von Bedeutung. Der Nachteil der relativ langsamen Schaltzeiten im Bereich von Millisekunden soll durch die Realisierung von nur wenigen Mikrometer großen Strukturen überwunden werden. Bistabile Schalter lassen sich dabei pinzipiell durch mechanisch verschränkte Cantilever mit entgegengesetzter mechanische Verbiegung im Ruhezustand realisieren. Neben der linearen thermischen Ausdehnung als Aktormechanismus sollen strukturelle Phasenübergänge in Perovskit-Dünnschichten auf ihre Eignung als Komponente eines mechanischen Bimaterialschalters untersucht werden. Das Projekt beinhaltet die Entwicklung und Optimierung der notwendigen Mikrofabrikationstechnologien, Designs von höchstfrequenztauglichen Mikromechanik-Bauelementen und deren Implementierung in einfache Höchstfrequenz-Testschaltungen sowie alle relevanten Untersuchungen der Schalt- und Höchstfrequenzeigenschaften.