Heißprägen multifunktionaler Kalibriernormale für bildverarbeitende Mikroskope zum Messen von Mikrosystemen und Nanostrukturen

这是一家由德国技术公司和安文东多功能公司提供的技术支持，它的主要功能是制造和使用纳米技术。根据国际标准化组织5436-1(Rück führbarkeit)的标准，德国理工学院的标准元素和纳米技术标准都是标准的，因此，我们可以从以下几个方面入手。在物理和肥沃的情况下，中央的Forschungsschwerpukt ist将Sinnvolle Vombination vombhanener bzw.neu zu egaltender and neuartiger Primärnormale auf Silizium-Bafer-base Sowie die Beherrschung des anschlieçenden Abformprozess in Thersikalisch kunstoffe dech einen einn einen einen einin einen einstug enen mehrstufigen prägeprozess geprozess Rischer Strukturen中的不规则过程。在Besondere Vorteil des HeiúPrägens liegt in der Kombination von PrimärNormal en，die Aus unterschiedlicchen，a这种机械装置清空LICHN Werkstoffen(即硅片-晶片)。他说：“这是一件非常重要的事情。”他说：“这是一件非常重要的事情。”

Das Forschungsvorhaben dient der Erarbeitung technologischer Grundlagen für die Herstellung und Anwendung multifunktionaler Kalibriernormale für bildverarbeitende Mikroskope im Bereich der Mikrosystem- und Nanotechnik durch Heißprägen von Kunststoffen. Idee des Vorhabens ist, fertigungsumgebungsgerechte Kalibriernomale mit folgenden grundlegenden Charakteristika abzuformen: Kalibriernormale in Anlehnung an ISO 5436-1 (zur Sicherstellung der Rückführbarkeit), Normale mit Standardformelementen aus der Mikrosystem- und Nanotechnik sowie Normale zur Prüfung physikalischer und gerätetechnischer Grenz- und Problembereiche bildverarbeitender Mikroskope. Zentraler Forschungsschwerpunkt ist die unter physikalisch und fertigungstechnischen Gesichtspunkten sinnvolle Kombination vorhandener bzw. neu zu gestaltender und neuartiger Primärnormale auf Silizium-Wafer-Basis sowie die Beherrschung des anschließenden Abformprozesses in thermoplastische Kunststoffe durch einen einstufigen oder mehrstufigen Prägeprozess geometrischer Strukturen. Der besondere Vorteil des Heißprägens liegt in der Kombination von Primärnormalen, die aus unterschiedlichen, auch mechanisch empfindlichen Werkstoffen (wie Silizium-Wafer) bestehen können. Erst durch Abformung derartig empfindlicher Primärwerkstoffe entstehen geeignete "robuste" Kalibriernormale für den fertigungsnahen Einsatz. Anwenderorientierte Richtlinien sollen darüber hinaus die Verwendung der Sekundärnormale zur Kalibrierung bildverarbeitender Mikroskope erleichtern bzw. festlegen.