Entwicklung und Untersuchung eines MEMS-basierten Mikro-SPM-Kopfarrays mit austauschbaren Cantilevern

微纳米技术和计量学中的光栅传感器传感器的研究（扫描探针显微镜），（1）在一个Großbereichs-SPM voll ausnutzt中使用Großem Verbebeich的Vorteile eines Nanopositioniersystems，（2）Bilderzeugungsgeschwindigkeit eines Großbereich-SPM's Bronksam erhöht，（3）一个简单的垂直测试和高分辨率测试方法，将对一个基于微机电系统-单光子晶体-Kopfmatrix的新一代微机电系统进行响应，即（1）基于静电场的横向扫描，（2）传统的SPM-Spitzen方法是一种实时的Spitzenaustausches benutzt和deshalb（3）solche Merkmale，wie greßer Versionebebebebereich behoher Auflösung，kleinen Abmessungen，niedrigem Leistungsverbrauch and niedrige Kosten aufweist.首先，我们要把国际合作项目与国际组织合作，把具体的合作和成果集中起来，实现国际合作的目标。H.基于MEMS的Mikro-SPM-Köpfe的开发、组装和安装。

Die raschen Fortschritte in der Mikro- und Nanotechnologie und bei metrologischen Rastersondenmikroskopen mit großem Messbereich verlangen einen neuartigen SPM-Kopf (scanning probe microscopy), der(1) die Vorteile eines Nanopositioniersystems mit großem Verschiebebereich in einem Großbereichs-SPM voll ausnutzt,(2) die Bilderzeugungsgeschwindigkeit eines Großbereich-SPM’s wirksam erhöht,(3) über einen ausreichenden vertikalen Verschiebebereich und hohe Auflösung verfügt.Deshalb wird als Reaktion auf die oben genannte Anforderung eine neuartige MEMS-basierte Mikro- SPM-Kopfmatrix vorgeschlagen, die(1) auf elektrostatischen lateralen Kammantriebsaktoren basiert,(2) traditionelle SPM-Spitzen mit der Fähigkeit eines in-time Spitzenaustausches benutzt und deshalb(3) solche Merkmale, wie großer Verschiebebereich bei hoher Auflösung, kleinen Abmessungen, niedrigem Leistungsverbrauch und niedrige Kosten aufweist.Diese vorgeschlagene Forschung ist eine typische interdisziplinäre Aufgabe, in der die MEMS-Technik und die Mikro-/Nanometrologie eng miteinander verknüpft sind. Hiermit wird von den Antragstellern ein internationales Verbundprojekt mit dem Ziel organisiert, die speziellen Kompetenzen und Erfahrungen jeder Seite zu nutzen und die Realisierung des Ziels dieses Vorschlags, d. h. die Entwicklung, Herstellung und Anwendung der MEMS-basierten Mikro-SPM-Köpfe, zu gewährleisten.