Directional Self‐Assembly of Fluorinated Star Block Polymer Thin Films Using Mixed Solvent Vapor Annealing
Directional Self‐Assembly of Fluorinated Star Block Polymer Thin Films Using Mixed Solvent Vapor Annealing
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使用混合溶剂蒸气退火定向自组装氟化星块聚合物薄膜
DOI：
10.1002/polb.24901
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发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
Epps, III, Thomas H.
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Sung, Seung Hyun;Farnham, William B.;Burch, Heidi E.;Brun, Yefim;Qi, Kai;Epps, III, Thomas H.
我们证明了在氟化的三臂星星嵌段聚合物（BP）薄膜中使用溶剂蒸汽退火与剪切应力的垂直层状结构域的定向排列。在没有任何衬底表面改性的情况下完成取向和对准的控制。此外，将三臂星星聚（甲基丙烯酸甲酯-嵌段-苯乙烯）[PMMA-PS]和聚（甲基丙烯酸八氟戊酯-嵌段-苯乙烯）与其线性类似物进行比较，以检查氟含量和星星结构对自组装BP特征尺寸和域间密度分布的影响。X射线反射仪结果表明，星星BP分子结构增加了有效的聚合物分离强度，并可能有助于减少聚合物域间距，这在下一代纳米光刻应用中是有用的。© 2019威利期刊股份有限公司J.波利姆科学，部分B：聚合物Phys.2019，57，1663-1672
We demonstrate the directional alignment of perpendicular‐lamellae domains in fluorinated three‐armed star block polymer (BP) thin films using solvent vapor annealing with shear stress. The control of orientation and alignment was accomplished without any substrate surface modification. Additionally, three‐armed star poly(methyl methacrylate‐block‐styrene) [PMMA‐PS] and poly(octafluoropentyl methacrylate‐block‐styrene) were compared to their linear analogues to examine the impact of fluorine content and star architecture on self‐assembled BP feature sizes and interdomain density profiles. X‐ray reflectometry results indicated that the star BP molecular architecture increased the effective polymer segregation strength and could possibly facilitate reduced polymer domain spacings, which are useful in next‐generation nanolithographic applications. © 2019 Wiley Periodicals, Inc. J. Polym. Sci., Part B: Polym. Phys.2019, 57, 1663–1672
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产生基材表面能/化学梯度的受控气相沉积方法。
DOI：
10.1063/1.3594104
发表时间：
2011
期刊：
The Review of scientific instruments
影响因子：
--
作者：
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通讯作者：
Thomas H. Epps
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