AlN Thin Films Fabricated by Sapphire Nitridation Method
AlN Thin Films Fabricated by Sapphire Nitridation Method
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蓝宝石氮化法制备AlN薄膜
DOI：
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发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
H. Fukuyama
中科院分区：
文献类型：
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作者：
中野博昭;大上悟;藤本敦;久保山宏;福島久哲;林部豊;H. Fukuyama
AlN薄膜声表面波器件的结构特性及频率响应
DOI：
10.1109/korus.2001.975101
发表时间：
2001
期刊：
5th Korea-Russia International Symposium on Science and Technology. Proceedings. KORUS 2001 (Cat. No.01EX478)
影响因子：
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作者：
C. Nam;Kyu
通讯作者：
Kyu
金刚石高频 SAW 滤波器
DOI：
10.1109/mwsym.1997.602924
发表时间：
1997
期刊：
1997 IEEE MTT-S International Microwave Symposium Digest
影响因子：
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作者：
K. Higaki;H. Nakahata;H. Kitabayashi;S. Fujii;K. Tanabe;Y. Seki;S. Shikata
通讯作者：
S. Shikata
优化用于痕量化学检测的表面声波传感器
DOI：
10.1109/sensor.1997.635480
发表时间：
1997
期刊：
Proceedings of International Solid State Sensors and Actuators Conference (Transducers '97)
影响因子：
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作者：
G. C. Frye;R. Kottenstette;E. Heller;C. Brinker;S. Casalnuovo;A. Sellinger;N. Raman;Yunfeng Lu
通讯作者：
Yunfeng Lu