Plasma optical emission measurements using machine learning for biocompatible N-DLC film depositions
Plasma optical emission measurements using machine learning for biocompatible N-DLC film depositions
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使用机器学习进行等离子体光发射测量，用于生物相容性 N-DLC 薄膜沉积
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Takashi Komatsu
中科院分区：
文献类型：
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作者：
1.Nurul Shakirah Binti Jamel;Kenji Hirakuri;Yasuharu Ohgoe;Akira Nakamura;Takashi Komatsu
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氩等离子体中添加氧气对聚甲基丙烯酸甲酯对聚苯乙烯蚀刻选择性的影响
DOI：
10.1117/1.jmm.12.4.041309
发表时间：
2013
期刊：
Journal of Micro/Nanolithography, MEMS, and MOEMS
影响因子：
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作者：
M. Satake;T. Iwase;M. Kurihara;N. Negishi;Y. Tada;H. Yoshida
通讯作者：
H. Yoshida
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作者：
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通讯作者：
I. Yun
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作者：
Choi, Jeong Eun;Park, Hyoeun;Hong, Sang Jeen
通讯作者：
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7.7
作者：
In Joong Kim;I. Yun
通讯作者：
I. Yun
影响因子：
1.7
作者：
Kang, G.;An, S.;Hong, S.
通讯作者：
Hong, S.