Photolithography of Dithiocarbamate-Anchored Monolayers and Polymers on Gold.
Photolithography of Dithiocarbamate-Anchored Monolayers and Polymers on Gold.
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DOI：
10.1039/c0jm04153j
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发表时间：
2011-03-28
影响因子：
--
通讯作者：
Wei A
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Leonov AP;Wei A
研究了二硫代氨基甲酸盐（DTC）锚定的单层和聚合物作为UV光刻在平面和粗糙Au表面上的正性抗蚀剂。DTC原位形成的CS2与单价或多价胺，如线性聚乙烯亚胺（PEI）在温和的碱性水溶液条件下，就在表面钝化的缩合。多价PEI-DTC对Au表面的强吸附支持高水平的抗光烧蚀性，提供了产生具有梯度功能的薄膜的机会。用烷硫醇处理双图案基底产生二元涂层，使DTC和硫醇钝化表面对化学诱导腐蚀的直接视觉比较，使用共聚焦显微镜。
Dithiocarbamate (DTC)-anchored monolayers and polymers were investigated as positive resists for UV photolithography on planar and roughened Au surfaces. DTCs were formed in situ by the condensation of CS2 with monovalent or polyvalent amines such as linear polyethyleneimine (PEI) under mildly basic aqueous conditions, just prior to surface passivation. The robust adsorption of the polyvalent PEI-DTC to Au surfaces supported high levels of resistance to photoablation, providing opportunities to generate thin films with gradient functionality. Treatment of photopatterned substrates with alkanethiols produced binary coatings, enabling a direct visual comparison of DTC- and thiol-passivated surfaces against chemically induced corrosion using confocal microscopy.
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