Generation of Ar cluster ion beam for high spatial resolution SIMS
Generation of Ar cluster ion beam for high spatial resolution SIMS
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生成用于高空间分辨率 SIMS 的 Ar 簇离子束
DOI：
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发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
J. Matsuo
中科院分区：
文献类型：
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作者：
S. Torii;T. Seki;T. Aoki;J. Matsuo
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影响因子：
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