Synthesis and Characterization of (Ti,Al)N Films by Ion-Beam-Assisted Deposition
Synthesis and Characterization of (Ti,Al)N Films by Ion-Beam-Assisted Deposition
复制标题
离子束辅助沉积 (Ti,Al)N 薄膜的合成与表征
DOI：
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发表时间：
2003
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
H.Uchida
中科院分区：
文献类型：
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作者：
T.Ueta;S.Hanaki;M.Yamashita;H.Uchida
离子束增强沉积法合成钛铝合金
影响因子：
5.4
作者：
Y. Setsuhara;H. Ohsako;Y. Makino;S. Miyake
通讯作者：
S. Miyake
影响因子：
2.1
作者：
WAHLSTROM, U;HULTMAN, L;GREENE, JE
通讯作者：
GREENE, JE
离子束动态混合形成金红石型 TiO2
DOI：
10.1116/1.577851
发表时间：
1992
期刊：
Journal of Vacuum Science and Technology
影响因子：
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作者：
S. Miyake;K. Honda;T. Kohno;Y. Setsuhara;M. Satou;A. Chayahara
通讯作者：
A. Chayahara