4H-SiC MOSFETの熱酸化膜と堆積酸化膜に対するNOアニールの効果

4H-SiC MOSFETの熱酸化膜と堆積酸化膜に対するNOアニールの効果
复制标题

NO退火对4H-SiC MOSFET热氧化膜和沉积氧化膜的影响

DOI:
--
复制
发表时间:
2010
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
木本恒暢
木本恒暢
中科院分区:
--
文献类型:
--
作者:
南園悠一郎;須田淳;木本恒暢

文献摘要

参考文献

被引文献

相似文献

PRESiCETM:为制造 SiC 电子设备而设计的工艺
DOI: 10.4028/www.scientific.net/msf.924.523
发表时间: 2018
期刊: Materials Science Forum
影响因子: --
作者:
B. Baliga;Woongje Sung;Kijeong Han;J. Harmon;A. Tucker;S. Syed
通讯作者: S. Syed
1.2 kV 4H-SiC JBSFET 的新型八角形单元拓扑与线性和六角形拓扑的比较:分析和实验结果
DOI: 10.1109/ispsd.2019.8757565
发表时间: 2019
期刊: 2019 31st International Symposium on Power Semiconductor Devices and ICs (ISPSD)
影响因子: --
作者:
Kijeong Han;Aditi Agarwal;B. Baliga
通讯作者: B. Baliga
具有低通态压降的 1.2 kV、10 A、4H-SiC 双向场效应晶体管 (BiDFET)
DOI: 10.4028/www.scientific.net/msf.1004.872
发表时间: 2019
期刊: Materials Science Forum
影响因子: --
作者:
Ajit Kanale;Tzu;Kijeong Han;B. Baliga;S. Bhattacharya;D. Hopkins
通讯作者: D. Hopkins