4H-SiC MOSFETの熱酸化膜と堆積酸化膜に対するNOアニールの効果
4H-SiC MOSFETの熱酸化膜と堆積酸化膜に対するNOアニールの効果
复制标题
NO退火对4H-SiC MOSFET热氧化膜和沉积氧化膜的影响
DOI:
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发表时间:
2010
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
木本恒暢
中科院分区:
文献类型:
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作者:
南園悠一郎;須田淳;木本恒暢
DOI:
10.4028/www.scientific.net/msf.924.523
发表时间:
2018
期刊:
Materials Science Forum
影响因子:
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作者:
B. Baliga;Woongje Sung;Kijeong Han;J. Harmon;A. Tucker;S. Syed
通讯作者:
S. Syed
DOI:
10.1109/ispsd.2019.8757565
发表时间:
2019
期刊:
2019 31st International Symposium on Power Semiconductor Devices and ICs (ISPSD)
影响因子:
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作者:
Kijeong Han;Aditi Agarwal;B. Baliga
通讯作者:
B. Baliga
DOI:
10.4028/www.scientific.net/msf.1004.872
发表时间:
2019
期刊:
Materials Science Forum
影响因子:
--
作者:
Ajit Kanale;Tzu;Kijeong Han;B. Baliga;S. Bhattacharya;D. Hopkins
通讯作者:
D. Hopkins