Practical Aspects of Removing the Effects of Elastic and Thermal Diffuse Scattering from Spectroscopic Data for Single Crystals
Practical Aspects of Removing the Effects of Elastic and Thermal Diffuse Scattering from Spectroscopic Data for Single Crystals
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从单晶光谱数据中消除弹性和热扩散散射影响的实际问题
DOI：
10.1017/s1431927614000804
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发表时间：
2014
影响因子：
2.8
通讯作者：
L. J.
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Lugg;N. R.; Melissa;N. J.; Findlay;S. D.; Allen;L. J.
提出了一种从已知厚度单晶原子分辨光谱图像的电子能量损失和能量色散x射线光谱数据中去除入射电子探针弹性和热漫射散射（TDS）影响的方法。通过计算已知结构样品内探针的分布，可以通过将非弹性截面重新表述为反问题，从实验数据中反卷积探针的通道和TDS。在电子能量损失谱中，这允许与第一性原理精细结构计算进行有效的比较。在能量色散x射线光谱学中，可以进行直接成分分析，如ζ-因子和Cliff-Lorimer k-因子分析，而无需通道和TDS的复杂性。我们详细探讨了如何将这种方法纳入现有的多切片程序，并演示了使用模拟测试样本实现这种方法的实际考虑因素。我们展示了在区轴方向的k因子分析中考虑探针散射的重要性。讨论了该方法的适用性和局限性。
A method to remove the effects of elastic and thermal diffuse scattering (TDS) of the incident electron probe from electron energy-loss and energy-dispersive X-ray spectroscopy data for atomically resolved spectrum images of single crystals of known thickness is presented. By calculating the distribution of the probe within a specimen of known structure, it is possible to deconvolve the channeling of the probe and TDS from experimental data by reformulating the inelastic cross-section as an inverse problem. In electron energy-loss spectroscopy this allows valid comparisons with first principles fine-structure calculations to be made. In energy-dispersive X-ray spectroscopy, direct compositional analyses such as ζ-factor and Cliff–Lorimer k-factor analysis can be performed without the complications of channeling and TDS. We explore in detail how this method can be incorporated into existing multislice programs, and demonstrate practical considerations in implementing this method using a simulated test specimen. We show the importance of taking into account the scattering of the probe in k-factor analysis in a zone axis orientation. The applicability and limitations of the method are discussed.
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--
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