Precise control of dry etching for nanometer scale air-hole arrays in two-dimensional GaAs/AlGaAs photonic crystal slabs,
Precise control of dry etching for nanometer scale air-hole arrays in two-dimensional GaAs/AlGaAs photonic crystal slabs,
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二维GaAs/AlGaAs光子晶体板中纳米级气孔阵列干法刻蚀的精确控制，
DOI：
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发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
and K. Asakawa,
中科院分区：
文献类型：
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作者：
N. Ikeda;Y. Sugimoto;Y. Watanabe;N. Ozaki;Y. Takata;Y. Tanaka;K. Inoue;and K. Asakawa,
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GaAs基空气桥型二维光子晶体板条波导关键nanQ工艺研究，
DOI：
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发表时间：
2007
期刊：
Semiconductor Science and Technology 22
影响因子：
--
作者：
N.Ikeda;Y.Sugimoto;Y.Tanaka;K.Inoue;H.Oda;Y.Watanabe;and K.Asakawa,
通讯作者：
and K.Asakawa,
影响因子：
1.4
作者：
A. Xing;M. Davanco;D. Blumenthal;E. Hu
通讯作者：
E. Hu
基于超小型砷化镓光子晶体板波导的近红外元件：直波导、60° 弯曲和 Y 波导的制造、导模识别以及低损耗和宽带宽度的估计分离器
影响因子：
1.5
作者：
Kuon Inoue;Y. Sugimoto;N. Ikeda;Y. Tanaka;K. Asakawa;T. Maruyama;K. Miyashita;K. Ishida;Yoshinori Watanabe
通讯作者：
Yoshinori Watanabe
影响因子：
1.4
作者：
Cheng, CC;Scherer, A
通讯作者：
Scherer, A